| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| ·课题研究意义及来源 | 第11-13页 |
| ·减振隔振技术概述 | 第13-14页 |
| ·精密仪器隔振中常用的方法 | 第14-17页 |
| ·振动主动控制的基本方法 | 第17-20页 |
| ·隔振系统动力学研究的主要方法 | 第20-21页 |
| ·本文研究路线及主要内容 | 第21-24页 |
| 第二章 模拟隔振试验平台设计中的几个关键问题 | 第24-45页 |
| ·概述 | 第24-25页 |
| ·方案设计 | 第25-28页 |
| ·精密定位系统设计 | 第28-33页 |
| ·掩模台及工件台连接装置设计 | 第33-37页 |
| ·精密隔振减振系统设计 | 第37-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第三章 减振系统结构参数选择及其对试验平台动态特性的影响 | 第45-67页 |
| ·ADAMS动力学仿真软件概述 | 第45-46页 |
| ·ADAMS动力学仿真软件理论基础 | 第46-50页 |
| ·步进扫描光刻机隔振试验平台ADAMS仿真模型的建立 | 第50-53页 |
| ·减振系统主要参数变化对试验平台动态特性影响分析 | 第53-61页 |
| ·减振器非线性刚度和阻尼对内部世界振动特性的影响 | 第61-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第四章 减振系统动力学建模与分析 | 第67-84页 |
| ·概述 | 第67页 |
| ·弹性支撑任意布置的减振体振动数学模型 | 第67-71页 |
| ·试验平台减振系统动力学方程的建立 | 第71-76页 |
| ·内部世界固有频率计算结果分析 | 第76-78页 |
| ·内部世界固有频率试验模态参数频域识别分析 | 第78-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第五章 减振系统的主动控制策略研究 | 第84-105页 |
| ·概述 | 第84-85页 |
| ·主动减振控制理论策略分析 | 第85-89页 |
| ·基于ADAMS和MATLAB的联合控制仿真模型分析 | 第89-90页 |
| ·基于PID的主动减振系统减振器独立控制研究 | 第90-99页 |
| ·基于PID的主动减振系统协同控制仿真研究 | 第99-102页 |
| ·仿真结果比较分析 | 第102-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 第六章 减振系统对环境噪声引起微振动的适应性试验分析 | 第105-123页 |
| ·概述 | 第105页 |
| ·影响试验平台内部世界微振动的主要因素分析 | 第105-106页 |
| ·试验系统组成及减振系统对微振动适应性评判方法 | 第106-107页 |
| ·测试结果分析 | 第107-121页 |
| ·本章小结 | 第121-123页 |
| 第七章 减振系统静动态减振性能测试试验分析 | 第123-134页 |
| ·减振系统减振性能测试试验系统组成 | 第123页 |
| ·减振系统静态减振性能测试试验分析 | 第123-127页 |
| ·减振系统动态减振性能测试试验分析 | 第127-133页 |
| ·本章小结 | 第133-134页 |
| 第八章 全文总结与展望 | 第134-136页 |
| 参考文献 | 第136-146页 |
| 致谢 | 第146-148页 |
| 攻读博士学位期间参加科研、申请专利和发表论文情况 | 第148-149页 |
