| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·空心阴极放电原理及一般特性 | 第8-10页 |
| ·微空心阴极放电的提出 | 第10-12页 |
| ·微空心阴极放电的研究进展 | 第12-17页 |
| ·应用前景 | 第17-18页 |
| ·本课题研究的目的、意义和主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 微空心阴极放电流体模型的建立 | 第19-35页 |
| ·BOLTZMANN 流体模型 | 第19-22页 |
| ·连续性方程的离散化 | 第22-30页 |
| ·边界条件 | 第30-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 微空心阴极放电的流体模型模拟结果 | 第35-48页 |
| ·程序流程图 | 第35-37页 |
| ·程序的初始化 | 第37-38页 |
| ·两种微空心阴极放电结构介绍 | 第38-39页 |
| ·模拟结果及分析 | 第39-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 4 微空心阴极放电装置的制作 | 第48-58页 |
| ·钼—KAPTON 聚酰亚胺薄膜—钼结构 | 第48-49页 |
| ·铜—KAPTON 聚酰亚胺薄膜—铜结构 | 第49-54页 |
| ·微空心阴极的实验研究 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 总结 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |