| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| ·国内外超精密硅片磨床现状概述 | 第10-11页 |
| ·虚拟样机仿真技术及应用 | 第11-15页 |
| ·传统模式下的产品开发过程 | 第11-12页 |
| ·现代模式下的产品开发过程 | 第12-13页 |
| ·数字化虚拟样机技术 | 第13-14页 |
| ·国内外结构有限元分析应用概况 | 第14页 |
| ·国内外多体仿真技术应用概况 | 第14-15页 |
| ·课题背景及意义 | 第15-16页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 超精密硅片磨床进给系统结构设计及三维数字样机搭建 | 第17-21页 |
| ·超精密硅片磨床进给系统的结构设计 | 第17-18页 |
| ·超精密硅片磨床进给系统的主要设计参数指标 | 第18-19页 |
| ·超精密硅片磨床进给系统三维数字样机的搭建 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 基于数字化虚拟样机的结构有限元分析 | 第21-25页 |
| ·有限元思想 | 第21-22页 |
| ·有限元结构分析及优化设计 | 第22页 |
| ·常用机床结构有限元分析类型 | 第22-24页 |
| ·结构静刚度分析 | 第23页 |
| ·结构动刚度分析 | 第23-24页 |
| ·结构热刚度分析 | 第24页 |
| ·超精密硅片磨床进给系统结构有限元分析任务 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 4 超精密硅片磨床进给系统结构有限元分析及优化 | 第25-67页 |
| ·ANSYS有限元分析步骤 | 第25-28页 |
| ·三维模型生成 | 第25页 |
| ·选择单元类型 | 第25-26页 |
| ·有限元网格划分 | 第26-27页 |
| ·设定边界条件 | 第27页 |
| ·定义分析类型 | 第27页 |
| ·求解设置及计算 | 第27-28页 |
| ·床身动力学分析及优化 | 第28-32页 |
| ·床身模态分析 | 第29-31页 |
| ·床身立柱壁厚优化 | 第31-32页 |
| ·立柱动力学分析及优化 | 第32-37页 |
| ·立柱模态分析 | 第33-36页 |
| ·筋板减重孔优化 | 第36-37页 |
| ·主轴座动力学分析及优化 | 第37-42页 |
| ·主轴座模态分析 | 第38-40页 |
| ·静力平衡计算 | 第40-41页 |
| ·吊耳位置对主轴座承载刚度的影响 | 第41-42页 |
| ·丝杠刚度计算及动力学分析优化 | 第42-52页 |
| ·不同安装方式下丝杠刚度计算及模态分析 | 第43-49页 |
| ·滚珠丝杠热、结构耦合分析 | 第49-51页 |
| ·滚珠丝杠谐响应分析 | 第51-52页 |
| ·传感器结构分析及优化 | 第52-56页 |
| ·传感器本体刚度设计 | 第52-53页 |
| ·传感器本体热、结构耦合分析 | 第53-54页 |
| ·传感器螺栓刚度设计计算 | 第54-56页 |
| ·超精密磨床进给系统部件动力学分析 | 第56-59页 |
| ·超精密硅片磨床进整机动力学分析 | 第59-64页 |
| ·整机模态分析 | 第59-62页 |
| ·超精密磨床热、结构耦合分析 | 第62-64页 |
| ·超精密磨床振源频率分析和砂轮齿数分析 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 5 基于数字化虚拟样机的多体运动学仿真 | 第67-71页 |
| ·多刚体动力学 | 第67-68页 |
| ·多体动力学 | 第68页 |
| ·进给系统低速爬行分析 | 第68-70页 |
| ·爬行现象 | 第68-69页 |
| ·爬行机理分析 | 第69页 |
| ·爬行对磨床加工性能的影响 | 第69-70页 |
| ·超精密硅片磨床进给系统运动学仿真任务 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 6 基于ADAMS的超精密硅片磨床进给系统运动学仿真 | 第71-83页 |
| ·ADAMS基本分析流程介绍 | 第71-72页 |
| ·Pro/E环境下进给系统模型建立 | 第72页 |
| ·ADAMS环境下进给系统多刚体模型的建立 | 第72-73页 |
| ·创建约束副 | 第73-75页 |
| ·定义电机驱动 | 第75页 |
| ·施加气缸平衡作用力 | 第75-76页 |
| ·ADAMS/Flex模块 | 第76页 |
| ·柔性丝杠MNF文件的创建 | 第76-77页 |
| ·进给系统刚柔耦合样机的建立 | 第77-78页 |
| ·定义进给系统主要分析参数 | 第78页 |
| ·进给仿真与结果分析 | 第78-81页 |
| ·减小低速进给爬行现象的优化措施 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 结论与展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-88页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |