| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-32页 |
| ·纳米金刚石薄膜的研究背景 | 第20-23页 |
| ·微米金刚石薄膜的不足 | 第20-21页 |
| ·纳米金刚石薄膜的优势与应用前景 | 第21-23页 |
| ·纳米金刚石薄膜技术的研究现状 | 第23-29页 |
| ·纳米金刚石薄膜的表征技术 | 第23-24页 |
| ·纳米金刚石薄膜的制备技术 | 第24-25页 |
| ·纳米金刚石薄膜的沉积理论 | 第25-28页 |
| ·纳米金刚石薄膜的机械性能 | 第28-29页 |
| ·本文的研究基础与内容 | 第29-32页 |
| ·本文的研究基础 | 第29页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第29-32页 |
| 第二章 双偏压HFCVD 法制备纳米金刚石膜沉积系统的研究 | 第32-55页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·HFCVD 系统温度场的分析 | 第32-35页 |
| ·HFCVD 系统温度场的研究现状 | 第32-33页 |
| ·HFCVD 系统的传热过程的理论基础 | 第33-34页 |
| ·衬底温度场的形成 | 第34-35页 |
| ·空间气相温度场的形成 | 第35页 |
| ·多点无电刷衬底温度场的测量装置与方法 | 第35-37页 |
| ·多点无电刷摆动测温的原理 | 第35-36页 |
| ·衬底温度场的测量装置与方法 | 第36-37页 |
| ·HFCVD 衬底温度场的数值分析 | 第37-43页 |
| ·衬底温度场的有限元模型 | 第37-38页 |
| ·有限元模型的实验验证 | 第38-40页 |
| ·结果的分析与讨论 | 第40-43页 |
| ·HFCVD 空间气相温度场的数值分析 | 第43-46页 |
| ·空间温度场的有限元模型 | 第43-44页 |
| ·结果的分析与讨论 | 第44-46页 |
| ·双偏压HFCVD 系统的研究与设计 | 第46-54页 |
| ·系统参数与总体设计 | 第46-47页 |
| ·原有HFCVD 系统简介 | 第47-49页 |
| ·气路与电路系统的改造 | 第49-50页 |
| ·多试样连续沉积系统 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第三章 纳米金刚石膜的制备工艺研究 | 第55-75页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·热丝碳化工艺与机理的研究 | 第55-58页 |
| ·热丝碳化的工艺 | 第55-56页 |
| ·热丝碳化的机理 | 第56-58页 |
| ·纳米金刚石薄膜的制备 | 第58-71页 |
| ·单晶硅衬底上制备纳米金刚石膜 | 第59-65页 |
| ·多晶钼衬底上制备纳米金刚石膜 | 第65-68页 |
| ·硬质合金衬底上制备纳米金刚石膜 | 第68-71页 |
| ·纳米金刚石厚膜的制备 | 第71-74页 |
| ·交替成核生长的方案 | 第71页 |
| ·厚膜微结构的分析 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第四章 双偏压对纳米金刚石膜沉积过程影响机理的研究 | 第75-97页 |
| ·引言 | 第75页 |
| ·双偏压HFCVD 系统的伏安特性 | 第75-77页 |
| ·双偏压对纳米金刚石薄膜成核的影响 | 第77-81页 |
| ·双偏压对纳米金刚石薄膜生长的影响 | 第81-86页 |
| ·双偏压作用机理的综合分析 | 第86-96页 |
| ·栅极正偏压的作用机理 | 第87-92页 |
| ·衬底负偏压的作用机理 | 第92-94页 |
| ·氢原子在纳米金刚石膜制备过程中作用的讨论 | 第94-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 第五章 纳米金刚石薄膜的力学性能分析 | 第97-113页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·纳米金刚石薄膜的纳米压痕力学性能 | 第97-108页 |
| ·纳米压痕力学测试原理 | 第97-100页 |
| ·实验设备与参数 | 第100页 |
| ·弹性模量与显微硬度分析 | 第100-107页 |
| ·断裂韧性分析 | 第107-108页 |
| ·纳米金刚石薄膜的摩擦性能 | 第108-110页 |
| ·实验设备与参数 | 第108-109页 |
| ·实验结果与讨论 | 第109-110页 |
| ·纳米金刚石薄膜的膜基结合性能 | 第110-111页 |
| ·实验设备与方法 | 第110页 |
| ·实验结果与讨论 | 第110-111页 |
| ·本章小结 | 第111-113页 |
| 第六章 纳米金刚石薄膜残余应力的研究 | 第113-136页 |
| ·引言 | 第113页 |
| ·金刚石膜产生应力的原因 | 第113-114页 |
| ·金刚石膜应力的测试方法及原理 | 第114-117页 |
| ·纳米金刚石薄膜热应力的有限元仿真研究 | 第117-127页 |
| ·金刚石膜热应力研究现状 | 第117-118页 |
| ·有限元模型的建立与验证 | 第118-122页 |
| ·热应力的分布规律 | 第122-126页 |
| ·沉积参数对热应力的影响 | 第126-127页 |
| ·纳米金刚石膜本征应力的研究 | 第127-134页 |
| ·偏压对生长应力的影响 | 第128-133页 |
| ·反应室气压对生长应力的影响 | 第133-134页 |
| ·衬底温度对生长应力的影响 | 第134页 |
| ·本章小结 | 第134-136页 |
| 第七章 总结与展望 | 第136-141页 |
| ·全文总结 | 第136-139页 |
| ·本文完成的主要工作 | 第136-138页 |
| ·本文创新之处 | 第138-139页 |
| ·后继研究工作展望 | 第139-141页 |
| 参考文献 | 第141-150页 |
| 致谢 | 第150-151页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第151-153页 |