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ESD荷电器件放电模式的测试条件研究

中文摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 绪论第7-20页
   ·半导体封装中的ESD 现象及危害第7-13页
   ·三种主要的ESD 放电模式及特点第13-20页
第二章 ESD CDM 静电测试方法及故障判断第20-31页
   ·CDM 静电测试的充放电模式第20-21页
   ·静电放电的测试组合第21-26页
   ·器件静电放电故障判断第26-28页
   ·静电放电故障临界电压及静电敏感度分类第28-30页
   ·本章结论第30-31页
第三章 CDM 测试实验系统及波形校验第31-42页
   ·CDM 静电放电测试平台简介第31-37页
   ·CDM 静电放电波形校验第37-39页
   ·CDM 波形校验中存在的问题及实验研究方案第39-42页
第四章 CDM 放电 LRC 模型第42-46页
   ·CDM 放电 LRC 模型的搭建第42-43页
   ·LRC 回路总电阻,电容,电感的计算第43-45页
   ·本章结论第45-46页
第五章 ESD CDM 放电模式测试条件的实验研究第46-52页
   ·放电标准电容模块的影响第46页
   ·充电盘介电层的影响第46-48页
   ·测试探针长度的影响第48-49页
   ·测试探针性状的影响第49-50页
   ·测试探针直径的影响第50页
   ·本章结论第50-52页
第六章 结论第52-53页
参考文献第53-54页
附录1 放电峰值电流IP1实验数据第54-57页
攻读学位期间本人公开发表的论文第57-58页
致谢第58-59页
详细摘要第59-61页

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