宽幅衍射图像激光干涉直写系统的设计及应用

中文摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第一章、引言	第8-17页
·研究背景	第8-9页
·国内外的研究现状	第9-16页
·本文主要研究的内容和创新点	第16-17页
第二章、系统的软硬件的优化设计与性能分析	第17-52页
·宽幅激光干涉直写系统的结构分析	第17-29页
·系统总体机械结构设计	第17-19页
·光学头轻量优化设计	第19-21页
·光学头主体框架的轻量化	第19-20页
·光学头传动机构的轻量化	第20-21页
·主要运动控制器件介绍	第21-24页
·系统的加工与调整精度要求	第24-29页
·干涉光学头器件设计与制造	第29-43页
·干涉光学头介绍	第29-30页
·分束干涉成像光路	第30-35页
·光束整形光路	第35-37页
·激光器的选择与其性能	第37-43页
·系统运动控制方式	第43-52页
·系统控制及采用的运行方式	第43-45页
·光栅尺信号的检测实现定位控制模式	第45-50页
·定位控制模式在PMAC卡中的实现方式	第47-48页
·定位控制模式中PMAC卡程序介绍	第48-50页
·旋转光学头的转动与刚性调整	第50-52页
第三章、系统性能评价与应用结果及典型分析	第52-62页
·系统性能参数	第52-55页
·宽幅衍射图像光刻实验结果	第55-62页
第四章、结论与展望	第62-66页
·结论及进一步研究方向	第62-63页
·应用前景	第63-66页
参考文献	第66-69页
攻读学位期间发表的论文及申请专利	第69-70页
致谢	第70-71页
详细摘要	第71-73页