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谐振腔耦合微波等离子体的光谱辐射研究

摘要第1-6页
Abstract第6-8页
第一章 引言第8-20页
   ·微波光源介绍第9-11页
   ·微波等离子体的国际研究动态第11-13页
   ·本论文的研究工作第13-17页
 参考文献第17-20页
第二章 温度轮廓的测量和模拟第20-55页
   ·温度轮廓的光谱学诊断第20-31页
   ·温度轮廓的理论模拟第31-51页
   ·小结第51-52页
 参考文献第52-55页
第三章 微波光源的参量优化第55-70页
   ·问题的提出第55-56页
   ·微波硫光谱的模拟第56-66页
   ·不同功率泡壳的设计第66-68页
   ·小结第68-69页
 参考文献第69-70页
第四章 发光物质的研究第70-89页
   ·目前的进展情况第70-72页
   ·InBr放电的情况第72-82页
   ·其它发光物质的研究第82-88页
 参考文献第88-89页
第五章 微波光源的启动第89-124页
   ·启动对微波光源的作用第89-91页
   ·微波放电的击穿第91-104页
   ·温升过程的研究第104-118页
   ·启动参数的设计第118-121页
 参考文献第121-124页
第六章 总结第124-126页
附录第126-135页
致谢第135-136页

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