真空紫外反射镜反射特性研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-12页
第一章 绪论	第12-17页
·研究意义及紫外反射膜现状	第12-15页
·真空紫外反射膜研究意义	第12-13页
·真空紫外反射膜技术概况	第13-15页
·本课题来源、目的及主要内容	第15-17页
第二章 分形法对表面粗糙度的评估	第17-30页
·薄膜表面粗糙度对薄膜反射率的影响	第17-18页
·分形概述及薄膜表面 AFM图像分形谱	第18-22页
·分形谱法分析表面粗糙度	第22-30页
第三章 真空紫外反射膜的设计计算	第30-39页
·介质薄膜的反射率计算	第30-35页
·光学薄膜设计基本原理	第30-31页
·多层反射膜的反射率的递推	第31-35页
·金属膜的反射率计算	第35-39页
第四章 反射膜反射特性实验研究	第39-67页
·真空紫外反射膜制备实验	第39-43页
·镀膜实验设备原理与配置	第39-41页
·薄膜制备实验安排	第41-43页
·真空紫外反射膜反射率的测定	第43-45页
·反射率测量原理	第43-44页
·反射率计的配置	第44-45页
·反射特性分析	第45-61页
·反射特性分析结论	第61-67页
第五章 总结与展望	第67-69页
·总结	第67页
·工作展望	第67-69页
参考文献	第69-72页
个人论文	第72-73页
附:程序列表	第73-76页
AFM图像分形谱计算程序	第73-76页