引信安全系统中高g值微加速度开关的设计与测试
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·论文背景 | 第8-9页 |
| ·微机电系统技术在引信中的应用 | 第9-14页 |
| ·微机电系统技术 | 第9-10页 |
| ·微机电系统技术在引信中的应用 | 第10-12页 |
| ·微机电系统技术在安全系统中的应用 | 第12-14页 |
| ·本文的主要工作 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 MEMS微加速度开关 | 第16-25页 |
| ·MEMS常用材料 | 第16-17页 |
| ·MEMS主要工艺技术 | 第17-20页 |
| ·硅基微加工工艺 | 第18页 |
| ·LIGA工艺 | 第18-19页 |
| ·EFAB | 第19-20页 |
| ·特种超精密微机械加工技术 | 第20页 |
| ·典型的微加速度开关 | 第20-24页 |
| ·交叉梁硅微加速度开关 | 第20-21页 |
| ·准LIGA微加速度开关 | 第21-22页 |
| ·有静电自锁功能的微加速度开关 | 第22-23页 |
| ·阈值微加速度开关 | 第23-24页 |
| ·微加速度开关类型的选择 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 微加速度开关的结构设计 | 第25-38页 |
| ·微加速度开关的原理 | 第25-26页 |
| ·微加速度开关的基本数学模型 | 第26-27页 |
| ·弹性梁结构的设计 | 第27-34页 |
| ·弹性梁形状的选择 | 第27-29页 |
| ·折叠梁刚度的理论计算 | 第29-32页 |
| ·弹性梁尺寸的设计 | 第32-34页 |
| ·敏感质量块的设计 | 第34页 |
| ·微加速度开关中的空气阻尼 | 第34-37页 |
| ·压膜阻尼 | 第35-36页 |
| ·滑膜阻尼 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 微加速度开关的数值仿真 | 第38-55页 |
| ·有限单元法与ANSYS | 第38-40页 |
| ·有限单元法 | 第38-39页 |
| ·ANSYS | 第39-40页 |
| ·微加速度开关静力学分析 | 第40-44页 |
| ·微加速度开关的量程和抗高过载能力 | 第44页 |
| ·微加速度开关瞬态动力学分析 | 第44-48页 |
| ·微加速度开关参数设计 | 第48-49页 |
| ·锁头闭锁部分的设计 | 第49-51页 |
| ·接触分析 | 第51-53页 |
| ·接触分析的单元 | 第51-52页 |
| ·锁头闭锁的接触分析 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 微加速度开关版图设计与加工 | 第55-68页 |
| ·版图设计软件MEMS Pro | 第55-56页 |
| ·MEMS Pro软件 | 第55页 |
| ·MEMS Pro软件的功能 | 第55-56页 |
| ·微加速度开关版图设计 | 第56-62页 |
| ·划片道的设计 | 第57页 |
| ·光刻对准标记的设计 | 第57页 |
| ·微加速度开关光刻掩膜版图设计 | 第57-59页 |
| ·微加速度开关锚区高度的确定 | 第59-62页 |
| ·关键工艺的选择 | 第62-64页 |
| ·键合 | 第62-63页 |
| ·ICP刻蚀 | 第63-64页 |
| ·RIE反应离子刻蚀 | 第64页 |
| ·微加速度开关加工工艺 | 第64-66页 |
| ·工艺中需要注意的问题 | 第66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 微加速度开关性能测试 | 第68-73页 |
| ·实验目的 | 第68页 |
| ·实验原理 | 第68-69页 |
| ·标准加速度传感器的选择 | 第69-70页 |
| ·实验结果及分析 | 第70-73页 |
| 结论与展望 | 第73-75页 |
| 总结 | 第73-74页 |
| 本文的创新点 | 第74页 |
| 展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
