用于小功率微波等离子体源的微带环缝谐振器的研究
| 第一章 绪论 | 第1-14页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| ·小型化RF／MW等离子体源的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文的研究内容和创新之处 | 第12-14页 |
| 第二章 气体放电和等离子体的形成 | 第14-25页 |
| ·直流放电理论 | 第14-17页 |
| ·气体的绝缘击穿-汤生的实验和理论 | 第14-15页 |
| ·放电起始电压—帕邢定律 | 第15-16页 |
| ·气体放电中的等离子体状态 | 第16-17页 |
| ·高频电压、微波引起的绝缘击穿 | 第17-21页 |
| ·感应耦合等离子体的生成方法 | 第21-25页 |
| 第三章 微带谐振器结构的理论分析 | 第25-39页 |
| ·微波谐振器 | 第25-27页 |
| ·谐振器的基本介绍 | 第25-26页 |
| ·微波谐振器的参数 | 第26-27页 |
| ·传输线谐振器 | 第27-30页 |
| ·短路λ／2线型谐振器 | 第27-29页 |
| ·开路λ／2线型谐振器 | 第29-30页 |
| ·λ／4线型谐振器 | 第30页 |
| ·微带线谐振器 | 第30-37页 |
| ·微带线特性 | 第30-34页 |
| ·微带线型谐振器 | 第34页 |
| ·微带线谐振器设计和品质因数研究 | 第34-37页 |
| ·小结 | 第37-39页 |
| 第四章 微带环缝谐振器的准静态理论分析 | 第39-47页 |
| ·微带缝隙谐振器结构介绍及分析 | 第39-41页 |
| ·微带环缝谐振器电模型分析 | 第41-46页 |
| ·传输线模型分析 | 第41页 |
| ·输入阻抗分析 | 第41-44页 |
| ·缝隙间电势差分析 | 第44-45页 |
| ·缝隙间电场分析 | 第45-46页 |
| ·总结 | 第46-47页 |
| 第五章 微带环缝谐振器的性能研究 | 第47-56页 |
| ·缝隙宽度的影响 | 第47-49页 |
| ·谐振器环宽的研究 | 第49-53页 |
| ·改变介质基片的介电常数的研究 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第六章 微带环缝谐振器的设计 | 第56-61页 |
| ·电容型耦合小功率微等离子体源系统结构 | 第56页 |
| ·谐振器模型的建立 | 第56-60页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| 总结和展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者研究生期间发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
