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激光与聚合物的相互作用(Ⅲ)银选择性活化化学镀在聚酰亚胺薄膜上制作精细线路

摘要第1-8页
ABSTRACT第8-14页
第一章 前言第14-38页
   ·激光与聚合物材料的相互作用第14-16页
   ·激光诱导金属沉积第16-28页
     ·激光诱导化学气相沉积(LCVD)第18页
     ·激光诱导向前迁移(LIFT)第18-20页
     ·激光诱导固体金属化合物膜分解沉积第20-21页
     ·激光诱导液相沉积(LCLD)第21-23页
     ·激光诱导化学镀第23-28页
       ·化学镀的基本原理第23-26页
       ·激光诱导化学镀第26-28页
   ·本课题的研究目的和研究内容第28-30页
 参考文献第30-38页
第二章 激光改性和银氨溶液中活化用于图形化化学镀的研究第38-62页
   ·引言第38-39页
   ·实验部分第39-42页
     ·聚酰亚胺薄膜第39页
     ·实验试剂第39-40页
     ·激光辐射方法第40页
     ·银氨溶液的配制第40-41页
     ·化学镀液的配制第41页
     ·聚酰亚胺薄膜表面选择性沉积铜的方法第41-42页
     ·表征技术第42页
   ·结果与讨论第42-58页
     ·聚酰亚胺表面激光选择性光刻沟槽第42-43页
     ·聚酰亚胺表面光刻区域银的沉积第43-46页
     ·PI薄膜表面的XPS分析第46-48页
     ·薄膜表面的选择性化学镀铜第48-58页
       ·不同阶段化学镀铜的微观形貌变化第48-50页
       ·镀层的EDS分析第50-51页
       ·清洗对镀铜图形选择性的影响第51-53页
       ·激光通量对化学镀铜形貌的影响第53-56页
       ·镀铜的图形第56页
       ·化学镀铜的导电性第56-57页
       ·镀层与基材PI的粘附性第57-58页
   ·本章小结第58-59页
 参考文献第59-62页
第三章 激光诱导原位沉积银及其用于图形化化学镀的研究第62-87页
   ·引言第62-63页
   ·实验部分第63-66页
     ·聚酰亚胺薄膜第63页
     ·实验试剂第63页
     ·激光辐射方法第63页
     ·聚酰亚胺薄膜表面选择性沉积铜的方法第63-65页
     ·表征技术第65-66页
   ·结果与讨论第66-82页
     ·PI表面改性前后的化学、物理变化第66-73页
       ·薄膜表面水解前后的ATR-FTIR分析第66-67页
       ·薄膜表面离子交换前后的EDS分析第67-68页
       ·激光辐射前后的XPS分析第68-71页
       ·薄膜表面的AFM和平衡接触角分析第71-73页
     ·激光光刻银粒子的物理性质第73-75页
       ·激光光刻银粒子与聚酰亚胺的粘附性第73-74页
       ·激光光刻银粒子的I-V特性研究第74-75页
     ·选择性化学镀第75-82页
       ·镀层的形貌和粘附性第75页
       ·激光通量对镀层形貌的影响第75-77页
       ·激光扫描速度的影响第77-79页
       ·激光扫描速度和镀线连贯性关系的数学模型第79-82页
       ·镀线的I-V特性第82页
   ·本章小结第82-84页
 参考文献第84-87页
第四章 PI/Ag~+薄膜上用其他方法进行图形化化学镀的研究第87-105页
   ·自组装单分子层膜用于激光诱导金属图形化沉积的研究第87-95页
     ·引言第87-88页
     ·实验部分第88-90页
       ·实验试剂第88-89页
       ·图形化化学镀铜的方法第89-90页
       ·表征技术第90页
     ·结果与讨论第90-95页
       ·热处理后聚酰亚胺表面银的XPS分析第90-91页
       ·聚酰亚胺表面的AFM和接触角分析第91-92页
       ·薄膜表面的ATR-FTIR光谱分析第92-93页
       ·薄膜表面的激光选择性活化机理分析第93-94页
       ·薄膜表面选择性化学镀铜第94-95页
   ·激光打印掩模法用于图形化化学镀的研究第95-100页
     ·引言第95-97页
     ·实验部分第97-98页
       ·激光打印装置第97页
       ·图形化化学镀铜的方法第97-98页
     ·结果与讨论第98-100页
       ·超声清洗中溶剂的选择第98-99页
       ·银离子的活化作用第99页
       ·薄膜表面的图形化化学镀第99-100页
   ·本章小结第100-102页
 参考文献第102-105页
第五章 PVP/AgNO_3胶体用于激光诱导图形化化学镀的研究第105-126页
   ·引言第105-108页
   ·实验部分第108-110页
     ·实验试剂第108页
     ·PVP/AgNO_3胶体溶液的配制第108页
     ·选择性化学镀铜的工艺第108-109页
     ·表征技术第109-110页
   ·结果与讨论第110-122页
     ·激光光刻前后的AFM形貌第110-111页
     ·激光光刻后的XPS分析第111-113页
     ·激光通量对银纳米粒子形貌的影响第113-115页
     ·PVP与AgNO_3配比对银纳米粒子形貌的影响第115-118页
     ·选择性化学镀第118-122页
       ·镀层的形貌第118-119页
       ·激光扫描速度的影响第119-121页
       ·镀层的性质第121-122页
   ·本章小结第122-123页
 参考文献第123-126页
第六章 全文总结和展望第126-130页
   ·本文的主要内容第126-127页
   ·五种方法的比较第127-128页
   ·对以后工作的展望第128-130页
致谢第130-131页
攻读博士学位期间发表和已经投稿的论文第131页
攻读博士学位期间申请的专利第131页

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