| 第一章 绪论 | 第1-15页 |
| ·选题的目的与意义 | 第9页 |
| ·国内外概况 | 第9-13页 |
| ·国外概况 | 第10-12页 |
| ·国内概况 | 第12-13页 |
| ·选题依据与主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 MEMS加速度传感器系统设计 | 第15-36页 |
| ·概述 | 第15-17页 |
| ·传感器构造 | 第15-16页 |
| ·加速度传感器特性及电容式加速度计的选用 | 第16-17页 |
| ·MEMS加工制造技术 | 第17-19页 |
| ·MEMS加工最典型的材料——硅 | 第18页 |
| ·体硅微制造技术 | 第18-19页 |
| ·MEMS加速度传感器总体设计方案 | 第19-22页 |
| ·传感器结构的参数 | 第22页 |
| ·加速度传感器硬件电路设计 | 第22-35页 |
| ·振荡电路 | 第23-26页 |
| ·方波发生器 | 第26-28页 |
| ·解调电路 | 第28-31页 |
| ·放大电路 | 第31-35页 |
| ·关于电路设计的一些问题 | 第35-36页 |
| 第三章 测控系统硬件设计 | 第36-55页 |
| ·测控系统硬件设计 | 第36-37页 |
| ·TMS320LF2407控制器的选择 | 第37-43页 |
| ·TMS320LF2407DSP的基本特点 | 第38-39页 |
| ·TMS320LF2407DSP的CPU内部功能模块及其功能 | 第39-42页 |
| ·TMS320LF2407DSP电路结构图 | 第42-43页 |
| ·AD8341模块 | 第43-47页 |
| ·AD8341结构功能 | 第43-44页 |
| ·AD8341模拟输入量的选择 | 第44-45页 |
| ·AD8341控制字的选择 | 第45页 |
| ·AD8341时钟模式的选择 | 第45-47页 |
| ·AD8341外围电路设计 | 第47页 |
| ·.TPS7333电源模块 | 第47-49页 |
| ·TPS7333特性 | 第47-48页 |
| ·TPS7333外围电路设计 | 第48-49页 |
| ·加速度传感器模块 | 第49-53页 |
| ·ADXL203特性 | 第49-50页 |
| ·ADXL203结构原理 | 第50-52页 |
| ·ADXL203外围电路设计 | 第52-53页 |
| ·硬件抗干扰措施 | 第53-55页 |
| 第四章 测控系统软件设计 | 第55-76页 |
| ·测控系统软件设计 | 第55-61页 |
| ·Code Composer Studio集成开发环境 | 第55-56页 |
| ·CCS的软件开发流程 | 第56-57页 |
| ·数字控制器的软件设计 | 第57-61页 |
| ·信号处理流程 | 第61-74页 |
| ·快速傅里叶变换 | 第62-67页 |
| ·频率补偿 | 第67-68页 |
| ·3 FIR滤波器 | 第68-72页 |
| ·速度和距离的数字计算 | 第72-74页 |
| ·软件抗干扰措施 | 第74-76页 |
| 第五章 结束语及展望 | 第76-78页 |
| ·总结 | 第76页 |
| ·需要进一步研究的问题 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 附录1 加速度传感器和AD转换电路图 | 第82-83页 |
| 附录2 DSP主电路图 | 第83-84页 |
| 作者攻硕期间取得的成果 | 第84页 |