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纳米TiO2薄膜的制备及其光导型紫外探测器的初步研究

第一章 绪论第1-26页
   ·纳米材料的概况第7-11页
     ·纳米材料的发展第7页
     ·纳米材料分类第7-8页
     ·纳米粒子的物理特性第8-9页
     ·纳米粒子的光学特性第9-11页
   ·纳米TiO_2的用途第11-12页
   ·TiO_2 的制备方法及表征手段第12-25页
     ·制备方法第13-19页
     ·表征手段第19-25页
   ·本论文的主要内容第25-26页
第二章 TiO_2薄膜材料的制备与表征第26-38页
   ·引言第26页
   ·TiO_2 薄膜的制备第26-28页
     ·TiO_2 溶胶的制备过程第27页
     ·涂膜过程第27-28页
     ·热处理过程第28页
   ·TiO_2 薄膜的表征第28-37页
     ·X-射线衍射分析(XRD)第28-31页
     ·原子力显微镜分析(AFM)第31-33页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)第33-35页
     ·紫外吸收光谱第35-37页
   ·小结第37-38页
第三章 紫外探测器的结构和工作原理第38-51页
   ·引言第38页
   ·探测器结构的基本类型第38-44页
   ·探测器的工作原理及主要参数第44-50页
   ·小结第50-51页
第四章 TiO_2紫外探测器的研制第51-63页
   ·引言第51页
   ·TiO_2紫外探测器的制备第51-57页
     ·Al 与TiO_2 的欧姆接触第51-53页
     ·TiO_2叉指状电极结构探测器的制备第53-57页
   ·探测器性能测试及结果讨论第57-61页
     ·暗电流与光电流的对比第57-58页
     ·光谱响应第58-60页
     ·光电流与偏置电压的关系第60-61页
   ·小结第61-63页
第五章 结论第63-66页
参考文献第66-69页
致谢第69-70页
攻读硕士学位期间发表的论文第70-71页
中文摘要第71-74页
英文摘要第74-76页

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