| 声明 | 第1-4页 |
| 中文摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-27页 |
| ·太阳电池的历史发展及原理 | 第11-16页 |
| ·太阳电池的历史发展 | 第11-12页 |
| ·太阳电池的工作原理 | 第12-16页 |
| ·减反射薄膜的历史发展及原理 | 第16-25页 |
| ·减反射薄膜的历史发展 | 第16-17页 |
| ·减反射薄膜的原理 | 第17-25页 |
| ·减反射薄膜在太阳电池上的制备方法 | 第25页 |
| ·本论文的研究内容及安排 | 第25-27页 |
| 第二章 TiO_2的特性及减反射薄膜的制备 | 第27-39页 |
| ·TiO_2 的特性及薄膜的制备 | 第27-34页 |
| ·TiO_2 的晶体结构及特性 | 第27-30页 |
| ·TiO_2 薄膜的应用 | 第30-34页 |
| ·TiO_2 减反射薄膜制备 | 第34-38页 |
| ·实验设备介绍 | 第34-36页 |
| ·Si 基底的清洗 | 第36-37页 |
| ·TiO_2 减反射薄膜的制备 | 第37-38页 |
| ·小结 | 第38-39页 |
| 第三章 TiO_2减反射薄膜的表征 | 第39-78页 |
| ·TiO_2 减反射薄膜表征所使用的测试技术 | 第39-44页 |
| ·n&k Analyze11200 | 第39-40页 |
| ·X 射线衍射分析（XRD） | 第40-42页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第42-43页 |
| ·ALPHA-STEP500 型台阶仪 | 第43-44页 |
| ·氧流量对直流反应磁控溅射制备TiO_2减反射薄膜性能结构的影响 | 第44-51页 |
| ·试验条件 | 第44-45页 |
| ·氧分压对TiO_2 薄膜光学性能的影响 | 第45-47页 |
| ·氧分压对TiO_2 薄膜厚度的影响 | 第47-48页 |
| ·氧分压对TiO_2 薄膜结构的影响 | 第48-49页 |
| ·氧分压对TiO_2 薄膜表面形貌的影响 | 第49页 |
| ·结论 | 第49-51页 |
| ·总气压对直流反应磁控溅射制备TiO_2减反射薄膜性能结构的影响 | 第51-60页 |
| ·试验条件 | 第51-52页 |
| ·总气压对TiO_2 薄膜光学性能的影响 | 第52-55页 |
| ·总气压对TiO_2 薄膜厚度的影响 | 第55-56页 |
| ·总气压对TiO_2 薄膜结构的影响 | 第56-57页 |
| ·总气压对TiO_2 薄膜表面形貌的影响 | 第57页 |
| ·结论 | 第57-60页 |
| ·温度对直流反应磁控溅射制备TiO_2减反射薄膜性能结构的影响 | 第60-69页 |
| ·试验条件 | 第60页 |
| ·温度对TiO_2 薄膜光学性能的影响 | 第60-64页 |
| ·温度对TiO_2 薄膜厚度的影响 | 第64页 |
| ·温度对TiO_2 薄膜结构的影响 | 第64-65页 |
| ·温度对TiO_2 薄膜表面形貌的影响 | 第65-66页 |
| ·结论 | 第66-69页 |
| ·靶基距对直流反应磁控溅射制备TiO_2减反射薄膜性能结构的影响 | 第69-77页 |
| ·试验条件 | 第69页 |
| ·靶基距对TiO_2 薄膜光学性能的影响 | 第69-72页 |
| ·靶基距对TiO_2 薄膜厚度的影响 | 第72-74页 |
| ·靶基距对TiO_2 薄膜结构的影响 | 第74页 |
| ·靶基距对TiO_2 薄膜表面形貌的影响 | 第74页 |
| ·结论 | 第74-77页 |
| ·小结 | 第77-78页 |
| 第四章 太阳电池双层减反射薄膜的研究 | 第78-96页 |
| ·Si02/TiO_2 太阳电池双层减反射薄膜的研究 | 第78-86页 |
| ·实验 | 第78-79页 |
| ·薄膜的表征 | 第79-86页 |
| ·单质TiO_2 太阳电池双层减反射薄膜的研究 | 第86-94页 |
| ·实验 | 第86-87页 |
| ·薄膜性能的表征 | 第87-94页 |
| ·小结 | 第94-96页 |
| 第五章 磁控溅射制备 TiO_2减反射薄膜对太阳电池光电转换效率影响的究 | 第96-105页 |
| ·电池I-V 特性测量 | 第96-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 第六章 结论 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 个人简历 | 第116-117页 |
| 博士期间发表论文情况 | 第117页 |
