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电致变色WO_x和WO_x:Mo薄膜的制备及其特性研究

中文摘要第1-6页
英文摘要第6-11页
1 绪 论第11-26页
   ·电致变色器件的基本结构与材料第12-17页
     ·透明导电层(Transparent Conducting Layer)第12-13页
     ·电致变色层(Electrochromic Layer)第13-15页
     ·离子导体层(Iron Conducting Layer)第15-16页
     ·离子存贮层(Counterelectrode Layer)第16-17页
   ·电致变色的工作原理第17-18页
   ·电致变色的机理第18-19页
     ·色心模型第18页
     ·价间电荷迁移模型第18-19页
     ·极化模型第19页
     ·自由载流子模型第19页
   ·常用的薄膜制备工艺第19-22页
     ·溅射沉积第19-20页
     ·化学气相沉积第20-21页
     ·真空蒸发沉积第21页
     ·溶胶-凝胶法第21-22页
   ·电致变色材料及器件的应用第22-24页
     ·电致变色显示器件(ECD)第22页
     ·电致变色灵巧窗(Smart Window)第22-23页
     ·无眩反光镜(Glare-free Mirror)第23-24页
     ·电色储存器件第24页
   ·目前存在的问题第24-25页
   ·本课题研究的目的及意义第25-26页
2 溅射镀膜原理第26-30页
   ·溅射机理及特点第26-27页
   ·基本溅射类型第27-30页
     ·直流溅射第27-28页
     ·射频溅射第28页
     ·反应溅射第28-29页
     ·磁控溅射第29-30页
3 实 验第30-33页
   ·实验设备及材料第30页
   ·薄膜的制备第30-32页
   ·薄膜的性能测试第32-33页
4 WOx薄膜的电致变色特性和结构研究第33-47页
   ·工艺参数对WOx薄膜电致变色特性和结构的影响第33-40页
     ·氧分量对WOx薄膜电致变色性能的影响第33-35页
     ·溅射功率对WOx薄膜电致变色性能的影响第35-37页
     ·溅射温度对WOx薄膜电致变色性能的影响第37-38页
     ·其他溅射因素对WOx薄膜电致变色性能的影响第38-39页
     ·薄膜的结构--X射线衍射分析第39-40页
   ·电致变色反应过程中WOx薄膜光学性质和结构的变化第40-44页
     ·薄膜的光学性质第40-41页
     ·薄膜的结构变化--X射线衍射分析第41-43页
     ·薄膜的表面形貌--扫描隧道显微镜(STM)分析第43-44页
   ·薄膜的开关响应时间、记忆存储能力和循环寿命第44-46页
     ·开关响应时间第44-45页
     ·记忆存储能力第45页
     ·循环寿命第45-46页
   ·本章小结第46-47页
5 WOx:Mo薄膜的电致变色特性和结构研究第47-55页
   ·掺杂方式对WOx薄膜电致变色特性的影响第47-49页
   ·相对掺杂量对WOx薄膜电致变色性能的影响第49-52页
   ·薄膜的结构分析--X射线衍射分析第52-53页
   ·薄膜的开关响应时间、记忆存储能力和循环寿命第53-54页
   ·本章小结第54-55页
6 V2O5薄膜的电致变色特性研究第55-61页
   ·氧分量对V2O5薄膜电致变色性能的影响第57-58页
   ·溅射功率对V2O5薄膜电致变色性能的影响第58页
   ·溅射温度对V2O5薄膜电致变色性能的影响第58-60页
   ·本章小结第60-61页
7 结 论第61-62页
致    谢第62-63页
参考文献第63-68页
附    录第68-69页

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