薄膜压力传感器性能研究及软件补偿
| 第一章 绪论 | 第1-13页 |
| ·传感器的发展进程 | 第8-10页 |
| ·薄膜应变式压力传感器的发展进程 | 第10-11页 |
| ·主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 合金薄膜压力传感器工作原理及其特性 | 第13-20页 |
| ·合金薄膜压力传感器的工作原理 | 第13-17页 |
| ·薄膜压力传感器的组成 | 第13页 |
| ·弹性敏感元件的结构及工作机理 | 第13-14页 |
| ·转换电路的工作原理 | 第14-16页 |
| ·测量电路的温度性能 | 第16-17页 |
| ·薄膜压力传感器的特性 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-20页 |
| 第三章 合金薄膜压力传感器的芯片工艺研究 | 第20-28页 |
| ·合金薄膜压力传感器的工艺流程 | 第20-21页 |
| ·弹性元件材料选择及预处理工艺研究 | 第21-22页 |
| ·镀膜的工艺研究 | 第22-26页 |
| ·绝缘膜的工艺研究 | 第22-24页 |
| ·应变电阻薄膜工艺研究 | 第24-25页 |
| ·保护膜工艺研究 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第四章 合金薄膜压力传感器的补偿 | 第28-37页 |
| ·合金薄膜压力传感器的初始补偿 | 第28-34页 |
| ·零点补偿(初始不平衡补偿) | 第28-30页 |
| ·零点温漂补偿 | 第30-32页 |
| ·利用薄膜电阻的零点补偿设计 | 第32-33页 |
| ·灵敏度温漂补偿 | 第33-34页 |
| ·合金薄膜压力传感器的信号调理电路 | 第34-36页 |
| ·XTR106单片集成电路的结构和功能 | 第34-35页 |
| ·传感器信号调理电路及其应用 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第五章 合金薄膜压力传感器的数字补偿电路 | 第37-43页 |
| ·MAX1452集成电路的功能及应用 | 第37-40页 |
| ·MAX1452的基本的信号调理 | 第37-39页 |
| ·薄膜压力传感器的MAX1452数字调理电路 | 第39-40页 |
| ·MAX1452集成电路的数字补偿 | 第40-42页 |
| ·零点与零点温漂的补偿 | 第41页 |
| ·量程与量程温漂的补偿 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第六章 补偿软件的设计与应用 | 第43-59页 |
| ·软件补偿过程设计 | 第43页 |
| ·软件补偿算法分析 | 第43-52页 |
| ·前级补偿软件设计方案 | 第43-47页 |
| ·精确补偿软件设计方案 | 第47-52页 |
| ·补偿软件功能设计 | 第52-54页 |
| ·软件实时补偿的工艺设计 | 第54-55页 |
| ·补偿结果分析 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第七章 结论与建议 | 第59-61页 |
| ·结论 | 第59-60页 |
| ·今后研究建议 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 硕士生期间发表论文 | 第65页 |
