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离子束沉积YSZ薄膜的生长竞争机制研究

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第1章 绪论第7-18页
   ·高温超导体及其应用简介第7-8页
     ·高温超导体简介第7-8页
     ·高温超导体的应用第8页
   ·YBa_2Cu_3O_7涂层导体及其缓冲层第8-12页
     ·YBa_2Cu_3O_7 涂层导体简介第8-9页
     ·缓冲层介绍第9-11页
     ·YBa_2Cu_3O_7 涂层导体制备方法第11页
     ·RABITS工艺介绍第11页
     ·倾斜基板工艺介绍第11-12页
   ·离子束辅助沉积(IBAD)及其原理和应用第12-14页
     ·IBAD工艺过程第12-13页
     ·IBAD工艺制备涂层导体的研究进展第13-14页
   ·IBAD薄膜生长机制的研究第14-17页
   ·本文内容简介第17-18页
第2章 实验的原理与制备简介第18-26页
   ·离子束辅助溅射沉积设备简介第18-22页
   ·样品测试设备的原理第22-26页
     ·X 射线衍射仪第22-24页
     ·原子力显微镜第24-25页
     ·扫描电子显微镜第25页
     ·台阶仪第25-26页
第3章 采用 IBAD 方法制备 YSZ 缓冲层的研究第26-37页
   ·IBAD 方法制备YSZ 缓冲层的优化研究第26-31页
     ·实验第26-27页
     ·结果与讨论第27-30页
     ·小结第30-31页
   ·辅助束流密度Ja对薄膜结构影响第31-37页
     ·实验第31-32页
     ·结果与讨论第32-35页
     ·小结第35-37页
第4章 YSZ 缓冲层的取向生长竞争研究第37-47页
   ·实验第37-38页
   ·结果与讨论第38-46页
   ·小结第46-47页
第5章 倾斜衬底上制备 YSZ 缓冲层的探索研究第47-51页
   ·实验第47-48页
   ·结果与讨论第48-50页
     ·A 组IBAD 实验结果第48-49页
     ·B 组non-IBAD 实验结果第49-50页
   ·小结第50-51页
结论第51-54页
参考文献第54-59页
附录 A 离子束辅助沉积(IBAD)系统介绍第59-70页
附录 B 温度对non-IBAD 样品的影响第70-73页
攻读学位期间发表论文与研究成果清单第73-74页
致谢第74页

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