电容式RF MEMS开关设计与性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·RF MEMS 开关研究背景及意义 | 第10-12页 |
| ·RF MEMS 开关发展及现状 | 第12-16页 |
| ·本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 电容式RF MEMS 开关设计 | 第17-27页 |
| ·开关工作原理 | 第17-19页 |
| ·开关性能参数 | 第19-21页 |
| ·开关制备 | 第21-26页 |
| ·MEMS 制造工艺 | 第21-24页 |
| ·样品制备 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 电容式RF MEMS 开关结构参数优化 | 第27-48页 |
| ·直拉形电容式RF MEMS 开关设计 | 第27-37页 |
| ·结构参数确定 | 第27-30页 |
| ·桥膜厚度对驱动电压和固有频率的影响 | 第30-32页 |
| ·桥膜长度对驱动电压和固有频率的影响 | 第32-33页 |
| ·桥膜宽度对驱动电压和固有频率的影响 | 第33-34页 |
| ·桥膜高度对驱动电压和固有频率的影响 | 第34-37页 |
| ·斜拉形电容式RF MEMS 开关设计 | 第37-41页 |
| ·结构参数确定 | 第37-38页 |
| ·斜拉长度对驱动电压和固有频率的影响 | 第38-40页 |
| ·驱动电极面积对驱动电压和固有频率的影响 | 第40-41页 |
| ·弯曲形电容式RF MEMS 开关设计 | 第41-46页 |
| ·结构参数确定 | 第41-42页 |
| ·L_a 对驱动电压和固有频率的影响 | 第42-43页 |
| ·L_b 对驱动电压和固有频率的影响 | 第43-45页 |
| ·悬臂梁宽度对驱动电压和固有频率的影响 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 电容式RF MEMS 开关性能测试 | 第48-57页 |
| ·I-V 特性和C-V 特性测试原理 | 第48-49页 |
| ·测试结果及分析 | 第49-56页 |
| ·I-V 特性测试结果及分析 | 第49-52页 |
| ·C-V 特性测试结果及分析 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 电容式RF MEMS 开关失效分析 | 第57-63页 |
| ·绝缘介质层失效 | 第57-58页 |
| ·粘附失效 | 第58-60页 |
| ·性能退化失效 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
