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CVD金刚石自支撑膜的高温石墨化行为研究

致谢第4-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-8页
1 引言第17-23页
2 文献综述第23-52页
    2.1 金刚石自支撑膜的性能及制备方法第23-27页
        2.1.1 金刚石的优异性能第23-24页
        2.1.2 金刚石自支撑膜的制备方法第24-27页
    2.2 金刚石与碳的稳定相第27-35页
        2.2.1 金刚石结构与石墨结构第27-29页
        2.2.2 碳的平衡相图第29-32页
        2.2.3 金刚石成为稳定相的讨论第32-35页
    2.3 石墨转变为金刚石的高压高温相变研究现状第35-40页
        2.3.1 石墨-金刚石相变热力学第35-36页
        2.3.2 石墨-金刚石相变模型第36-40页
    2.4 金刚石石墨化的研究现状第40-43页
        2.4.1 金刚石石墨化行为的诱导因素第40-42页
        2.4.2 金刚石高温石墨化的活化能第42-43页
    2.5 金刚石高温石墨化微观机理模型的研究现状第43-52页
        2.5.1 空位扩散控制模型第43-47页
        2.5.2 取向关系模型第47-52页
3 研究内容与实验方法第52-68页
    3.1 研究内容及思路第52-53页
        3.1.1 研究内容第52-53页
        3.1.2 研究思路第53页
    3.2 金刚石自支撑膜的制备及基本性能第53-63页
        3.2.1 金刚石自支撑膜的制备第53-57页
        3.2.2 金刚石自支撑膜的基本特征第57-63页
    3.3 金刚石自支撑膜热处理实验第63-68页
        3.3.1 金刚石自支撑膜热处理样品的加工第63页
        3.3.2 金刚石自支撑膜快速高温热处理实验方案第63-64页
        3.3.3 金刚石自支撑膜石墨化行为表征手段第64-68页
4 金刚石自支撑膜的高温石墨化转变第68-89页
    4.1 金刚石自支撑膜的宏观石墨化第68-76页
        4.1.1 金刚石自支撑膜的宏观石墨化温度第68-72页
        4.1.2 高温驻留时间对金刚石自支撑膜宏观石墨化的影响第72-76页
    4.2 金刚石自支撑膜的表面石墨化第76-84页
        4.2.1 表面石墨化对金刚石自支撑膜形貌的影响第76-78页
        4.2.2 基于拉曼光谱分析金刚石自支撑膜表面石墨的分布特征第78-82页
        4.2.3 金刚石自支撑膜表面石墨化的应力分析第82-84页
    4.3 金刚石自支撑膜生长面与形核面石墨化行为的异同第84-87页
        4.3.1 石墨化对生长面与形核面形貌的影响第84-86页
        4.3.2 生长面与形核面的石墨化率对比第86-87页
    4.4 本章小结第87-89页
5 石墨化对金刚石自支撑膜红外光学性能的影响第89-104页
    5.1 金刚石自支撑膜的基本红外光学性能第89-92页
    5.2 高温石墨化对金刚石自支撑膜红外透过率的影响第92-97页
        5.2.1 热处理前后金刚石自支撑膜的红外透过率对比第92-93页
        5.2.2 表面石墨化对红外透过率的影响第93-96页
        5.2.3 内部石墨化对红外透过率的影响第96-97页
    5.3 石墨化致金刚石自支撑膜红外透过损失机理分析第97-103页
        5.3.1 金刚石自支撑膜的红外透波机理第97-99页
        5.3.2 内部石墨化红外透过损失分析第99-101页
        5.3.3 表面石墨化红外透过损失分析第101-103页
    5.4 本章小结第103-104页
6 金刚石自支撑膜高温石墨化的动力学分析第104-127页
    6.1 金刚石自支撑膜表面石墨化定量分析第104-107页
    6.2 金刚石自支撑膜晶界石墨化定量分析第107-116页
        6.2.1 金刚石自支撑膜高温晶界宽化第107-109页
        6.2.2 晶界石墨含量变化的XPS定量分析第109-116页
    6.3 金刚石自支撑膜高温石墨化活化能第116-125页
        6.3.1 金刚石自支撑膜表面石墨化活化能第116-117页
        6.3.2 金刚石自支撑膜晶界石墨化活化能第117-120页
        6.3.3 关于金刚石石墨化活化能的讨论第120-125页
    6.4 本章小结第125-127页
7 金刚石自支撑膜高温石墨化的热力学分析第127-141页
    7.1 金刚石与石墨的热膨胀与高温晶格常数对比第127-133页
        7.1.1 金刚石的热膨胀与高温晶格常数第127-131页
        7.1.2 石墨的热膨胀与高温晶格常数第131-133页
    7.2 金刚石石墨化阻力的应力应变理论计算第133-136页
    7.3 石墨在金刚石中的形核第136-140页
    7.4 本章小结第140-141页
8 金刚石自支撑膜高温石墨化微观机制探讨第141-158页
    8.1 金刚石自支撑膜(111)表面石墨化第141-145页
    8.2 金刚石自支撑膜晶界石墨化第145-151页
        8.2.1 氢在金刚石自支撑膜晶界石墨化中的作用第145-149页
        8.2.2 晶界区域金刚石和石墨的取向关系第149-150页
        8.2.3 金刚石自支撑膜晶界石墨化模型第150-151页
    8.3 金刚石自支撑膜内部缺陷石墨化第151-157页
        8.3.1 宏观孔洞处的石墨化第151-152页
        8.3.2 微观缺陷处的石墨化第152-157页
    8.4 本章小结第157-158页
9 结论第158-160页
不足与展望第160-161页
主要创新点第161-163页
参考文献第163-179页
作者简历及在学研究成果第179-183页
学位论文数据集第183页

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