| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 超导纳米线单光子探测器简介 | 第7-11页 |
| 1.1.1 超导纳米线单光子探测器的研究现状 | 第7-8页 |
| 1.1.2 探测机理简述 | 第8-10页 |
| 1.1.3 探测效率、暗计数率、时域抖动、死时间 | 第10-11页 |
| 1.2 探测效率的偏振敏感性 | 第11-12页 |
| 1.3 分形曲线及其在电子学中的应用 | 第12-13页 |
| 1.4 论文的研究目的及整体框架 | 第13-15页 |
| 第2章 分形超导纳米线单光子探测器的设计 | 第15-21页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 回形纳米线单光子探测器吸收仿真 | 第15-17页 |
| 2.3 分形纳米线单光子探测器吸收仿真 | 第17-20页 |
| 2.3.1 皮亚诺分形纳米线结构说明 | 第17-18页 |
| 2.3.2 吸收效率仿真结果 | 第18-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 器件加工 | 第21-31页 |
| 3.1 引言 | 第21-22页 |
| 3.2 扫描电子束曝光工艺步骤 | 第22-27页 |
| 3.2.1 近邻效应 | 第22-23页 |
| 3.2.2 模版设计 | 第23-24页 |
| 3.2.3 工艺流程 | 第24-27页 |
| 3.3 干法刻蚀工艺步骤 | 第27-28页 |
| 3.4 光刻-电子束蒸镀-抬离工艺步骤 | 第28-30页 |
| 3.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第4章 偏振相关的吸收效率测量 | 第31-41页 |
| 4.1 引言 | 第31页 |
| 4.2 测试系统搭建 | 第31-35页 |
| 4.2.1 高精度六轴位移调节台的控制 | 第32-33页 |
| 4.2.2 光纤聚焦器出射光束束腰半径的测量 | 第33-35页 |
| 4.3 器件吸收率测量 | 第35-40页 |
| 4.3.1 光斑-器件耦合方法 | 第35-38页 |
| 4.3.2 测试结果 | 第38-40页 |
| 4.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第5章 偏振相关的器件效率测量 | 第41-57页 |
| 5.1 引言 | 第41页 |
| 5.2 低温测试系统简述 | 第41-44页 |
| 5.2.1 低温测试系统 | 第41-43页 |
| 5.2.2 耦合效率测算 | 第43-44页 |
| 5.3 测试结果 | 第44-51页 |
| 5.3.1 器件低温性能及表征 | 第44-47页 |
| 5.3.2 偏振相关的器件效率测量结果 | 第47-51页 |
| 5.4 讨论 | 第51-56页 |
| 5.4.1 有关电流拥挤效应的讨论 | 第51-55页 |
| 5.4.2 连续调节偏振敏感度的分形超导纳米线单光子探测器设计 | 第55-56页 |
| 5.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 总结 | 第57页 |
| 6.2 展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录A：符号定义 | 第63-65页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |