| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 减反射结构 | 第13-26页 |
| 1.1.1 层状减反射结构 | 第13-17页 |
| 1.1.1.1 单层膜 | 第14-15页 |
| 1.1.1.2 多层膜 | 第15-17页 |
| 1.1.2 纳米柱减反射结构 | 第17-21页 |
| 1.1.3 表面等离子激元减反射结构 | 第21-26页 |
| 1.2 课题研究目的及意义 | 第26页 |
| 1.3 论文内容安排 | 第26-29页 |
| 第二章 复合纳米结构中的光学原理 | 第29-43页 |
| 2.1 光的传播理论 | 第29-36页 |
| 2.1.1 麦克斯韦方程组 | 第29-31页 |
| 2.1.2 光的能量 | 第31-32页 |
| 2.1.3 光的反射及折射 | 第32-36页 |
| 2.2 金属纳米颗粒的等离子激元效应 | 第36-42页 |
| 2.2.1 理论分析 | 第37-38页 |
| 2.2.1.1 准静态近似 | 第37页 |
| 2.2.1.2 影响因素 | 第37-38页 |
| 2.2.1.3 近场及远场 | 第38页 |
| 2.2.2 共振阻尼 | 第38-39页 |
| 2.2.3 散射截面及吸收截面 | 第39页 |
| 2.2.4 颗粒间的相互作用 | 第39-41页 |
| 2.2.5 基底上的金属纳米颗粒 | 第41-42页 |
| 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 斜角沉积技术制备纳米柱阵列的研究 | 第43-57页 |
| 3.1 减反射结构制备方法 | 第43-44页 |
| 3.2 斜角沉积技术简介 | 第44页 |
| 3.3 薄膜生长机理 | 第44-46页 |
| 3.3.1 成核 | 第45页 |
| 3.3.2 生长 | 第45-46页 |
| 3.4 纳米柱阵列制备及生长机理研究 | 第46-51页 |
| 3.4.1 SiO_2纳米柱阵列的制备及表征 | 第46-48页 |
| 3.4.1.1 SiO_2纳米柱阵列的制备 | 第46-47页 |
| 3.4.1.2 SiO_2纳米柱阵列的形貌表征 | 第47-48页 |
| 3.4.2 沉积角度对纳米柱生长的影响 | 第48-50页 |
| 3.4.3 基底旋转对纳米柱生长的影响 | 第50-51页 |
| 3.5 沉积角度对薄膜形貌影响的理论研究 | 第51-56页 |
| 3.5.1 沉积角度与纳米柱倾斜角的关系 | 第51-55页 |
| 3.5.1.1 正切关系的修正 | 第52-53页 |
| 3.5.1.2 余弦关系的修正 | 第53-54页 |
| 3.5.1.3 修正后公式的准确性 | 第54-55页 |
| 3.5.2 沉积角度与薄膜密度的关系 | 第55-56页 |
| 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 复合纳米结构的制备及减反射研究 | 第57-73页 |
| 4.1 复合纳米结构的制备 | 第57-59页 |
| 4.1.1 制备流程 | 第57-58页 |
| 4.1.2 反射率测试 | 第58-59页 |
| 4.1.3 参数优化 | 第59页 |
| 4.2 复合纳米结构的仿真 | 第59-62页 |
| 4.2.1 时域有限差分简介 | 第60-61页 |
| 4.2.2 仿真模型的基本设置 | 第61-62页 |
| 4.3 复合纳米结构的减反射机理 | 第62-67页 |
| 4.3.1 形貌分析 | 第62-64页 |
| 4.3.1.1 上层Ag纳米颗粒的形成 | 第62-63页 |
| 4.3.1.2 Ag纳米岛及Ag纳米颗粒的尺寸分布 | 第63-64页 |
| 4.3.2 减反射机理 | 第64-67页 |
| 4.3.2.1 减反射性能 | 第64页 |
| 4.3.2.2 仿真模型的建立 | 第64-66页 |
| 4.3.2.3 宽波段减反射的原因 | 第66-67页 |
| 4.3.2.4 模拟计算与实验误差 | 第67页 |
| 4.4 结构参数对减反射性能的影响 | 第67-72页 |
| 4.4.1 Ag膜厚度的影响 | 第68页 |
| 4.4.2 SiO_2纳米柱高度的影响 | 第68-69页 |
| 4.4.3 SiO_2纳米柱阵列沉积角度的影响 | 第69-72页 |
| 4.4.3.1 样品制备 | 第69-70页 |
| 4.4.3.2 形貌分析 | 第70-71页 |
| 4.4.3.3 反射率随沉积角度的变化 | 第71-72页 |
| 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 复合纳米减反射结构在柔性基底上的应用 | 第73-85页 |
| 5.1 复合纳米结构在柔性基底上的制备 | 第73-75页 |
| 5.2 复合纳米结构在柔性基底上的减反射研究 | 第75-84页 |
| 5.2.1 减反射机理 | 第75-78页 |
| 5.2.1.1 基本形貌 | 第75页 |
| 5.2.1.2 减反射性能 | 第75-76页 |
| 5.2.1.3 宽波段减反射的机理 | 第76-78页 |
| 5.2.2 宽角度减反射的研究 | 第78-80页 |
| 5.2.2.1 反射率测试 | 第78页 |
| 5.2.2.2 宽角度减反射的机理 | 第78-80页 |
| 5.2.3 弯曲减反射的研究 | 第80-84页 |
| 5.2.3.1 弯曲反射测试 | 第81页 |
| 5.2.3.2 弯曲减反射性能 | 第81-83页 |
| 5.2.3.3 弯曲导致的结构形变对反射率的影响 | 第83-84页 |
| 本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-87页 |
| 6.1 总结 | 第85-86页 |
| 6.2 展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-101页 |
| 致谢 | 第101-103页 |
| 作者简介 | 第103页 |