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微孔电沉积与微区电偶腐蚀过程的有限元数值仿真研究

致谢第4-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-8页
1 引言第13-14页
2 文献综述第14-45页
    2.1 电化学体系的特点及研究方法第14-16页
        2.1.1 电化学体系的特点第14-15页
        2.1.2 电化学问题的数学描述及数值求解第15-16页
    2.2 有限元法简介第16-17页
        2.2.1 有限元法的发展第16页
        2.2.2 有限元法的基本原理第16-17页
    2.3 微孔电沉积铜的实验及模拟研究第17-32页
        2.3.1 微孔电沉积铜的应用背景及生产工艺第18-19页
        2.3.2 不同添加剂在微孔电沉积铜中作用机理的实验研究第19-25页
        2.3.3 建模与数值模拟在微孔电沉积铜研究中的应用现状第25-32页
    2.4 高强铝合金局部腐蚀的实验及模拟研究第32-40页
        2.4.1 高强铝合金应用背景及性能第33-34页
        2.4.2 第二相对高强铝合金抗腐蚀性能的影响第34-38页
        2.4.3 建模与数值模拟在高强铝合金微观腐蚀研究中的应用现状第38-40页
    2.5 小结第40页
    2.6 课题研究意义,研究内容,研究方法及创新点第40-45页
        2.6.1 课题研究目的及意义第40-41页
        2.6.2 课题主要研究内容第41-42页
        2.6.3 课题研究技术路线及研究方法第42-44页
        2.6.4 课题创新点第44-45页
3 平板电极上电沉积铜体系中添加剂作用机理研究第45-61页
    3.1 引言第45-46页
    3.2 实验研究内容及结果第46-51页
        3.2.1 实验体系及实验内容第46-47页
        3.2.2 实验结果及讨论第47-51页
    3.3 数学建模及数值模拟研究第51-59页
        3.3.1 无添加剂体系(溶液A)数学模型及模拟结果第51-54页
        3.3.2 单一抑制剂PEG作用机理的数学模型及模拟结果第54-56页
        3.3.3 单一促进剂SPS作用机理的数学模型及模拟结果第56-57页
        3.3.4 复合添加剂体系作用机理的数学模型及模拟结果第57-59页
    3.4 小结第59-61页
4 微孔电极上添加剂在电沉积铜过程中作用机理的研究第61-84页
    4.1 引言第61页
    4.2 无添加剂体系(溶液A)数学模型及模拟结果第61-66页
        4.2.1 模型建立第61-62页
        4.2.2 微孔孔深对微孔中铜电沉积行为的影响第62-63页
        4.2.3 微孔孔径对微孔中铜电沉积行为的影响第63-65页
        4.2.4 槽压对微孔中铜电沉积行为的影响第65-66页
    4.3 单一抑制剂PEG作用机理的数学模型及模拟结果第66-73页
        4.3.1 模型建立第66-67页
        4.3.2 抑制剂PEG浓度对微孔中铜电沉积行为的影响第67-70页
        4.3.3 微孔孔深对抑制剂PEG作用的影响第70-71页
        4.3.4 微孔孔径对抑制剂PEG作用的影响第71-73页
    4.4 单一抑促进剂SPS作用机理的数学模型及模拟结果第73-78页
        4.4.1 模型建立第73页
        4.4.2 促进剂SPS浓度对微孔中铜电沉积行为的影响第73-75页
        4.4.3 微孔孔深对促进剂SPS作用的影响第75-77页
        4.4.4 微孔孔径对促进剂SPS作用的影响第77-78页
    4.5 复合添加剂体系作用机理的数学模型及模拟结果第78-82页
        4.5.1 模型建立第78-79页
        4.5.2 添加剂配比对抑制剂和促进剂协同作用的影响第79-82页
    4.6 小结第82-84页
5 高强铝合金微观电偶腐蚀的实验研究及基础模型建立第84-105页
    5.1 引言第84页
    5.2 实验研究内容及结果讨论第84-90页
        5.2.1 Al7075微观形貌及成分分析第84-87页
        5.2.2 Al7075中第二相电化学活性测试第87-88页
        5.2.3 Al7075中第二相诱发基体局部溶解的AFM原位追踪第88-89页
        5.2.4 Al7075中第二相单相电化学极化曲线定量测量第89-90页
    5.3 基础模型建立第90-103页
        5.3.1 模型假设及特征第90-91页
        5.3.2 物理模型及数学模型描述第91-94页
        5.3.3 数值求解第94-96页
        5.3.4 模拟结果及讨论第96-103页
    5.4 小结第103-105页
6 几何因素对高强铝合金微观电偶腐蚀影响的研究第105-119页
    6.1 引言第105页
    6.2 几何因素的设置第105-107页
    6.3 第二相半径(R_(particle))对铝合金微观电偶腐蚀的影响第107-112页
        6.3.1 对阴阳极电流密度的影响第107-108页
        6.3.2 对Al(OH)_3沉积动力学及其抑制腐蚀发展作用的影响第108-109页
        6.3.3 对溶液pH分布的影响及活性界面推进的二维可视化结果第109-111页
        6.3.4 对电极表面阴阳极总积分电流/活性溶解速度的影响第111-112页
    6.4 活性溶解边界区半径(R_(ring))对铝合金微观电偶腐蚀的影响第112-117页
        6.4.1 对阴阳极电流密度的影响第112-113页
        6.4.2 对Al(OH)_3沉积动力学及其抑制腐蚀发展作用的影响第113-114页
        6.4.3 对溶液pH分布的影响及活性界面推进的二维可视化结果第114-116页
        6.4.4 对电极表面阴阳极总积分电流/活性溶解速度的影响第116-117页
    6.5 小结第117-119页
7 溶液化学环塊对高强铝合金微观电偶腐蚀影响的研究第119-135页
    7.1 引言第119页
    7.2 受化学因素影响的电化学动力学参数第119-123页
        7.2.1 考虑pH影响的三维电化学动力学参数第120-121页
        7.2.2 考虑pH和O_2浓度影响的四维电化学动力学参数第121-123页
        7.2.3 电偶腐蚀驱动力随时间的变化第123页
    7.3 本体溶液pH对铝合金微观电偶腐蚀的影响第123-128页
        7.3.1 对阴阳极电流密度的影响第124-125页
        7.3.2 对Al(OH)3沉积动力学及其抑制腐蚀发展作用的影响第125页
        7.3.3 对溶液局部pH分布的影响及活性界面推进的二维可视化结果第125-127页
        7.3.4 对阴阳极积分电流/腐蚀速度的影响第127-128页
    7.4 局部pH对铝合金微观电偶腐蚀的影响第128-130页
        7.4.1 对阴阳极电流密度的影响第128-129页
        7.4.2 对阴阳极积分电流/腐蚀速度的影响第129-130页
    7.5 溶解氧浓度对铝合金微观电偶腐蚀影响研究第130-133页
        7.5.1 对阴阳极动力学的影响第130-132页
        7.5.2 对Al(OH)_3沉积动力学及其抑制腐蚀发展作用的影响第132-133页
    7.6 小结第133-135页
8 结论第135-137页
参考文献第137-154页
作者简历及在学研究成果第154-159页
学位论文数据集第159页

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