| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第12-15页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.1.2 课题研究意义 | 第12-15页 |
| 1.2 强激光对熔石英元件损伤研究现状 | 第15-20页 |
| 1.2.1 激光损伤前驱体研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.2 后处理工艺研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 缺陷诱导损伤检测评价 | 第22-29页 |
| 2.1 缺陷检测评价 | 第22-26页 |
| 2.1.1 扫描电子显微镜和原子力显微镜 | 第22-23页 |
| 2.1.2 光热检测技术 | 第23-25页 |
| 2.1.3 激光损伤阈值测试 | 第25-26页 |
| 2.2 损伤性能—阈值的关联规律 | 第26-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 离子束加工过程中损伤前驱体抑制理论与演变规律 | 第29-39页 |
| 3.1 离子束加工过程中缺陷演变规律研究 | 第29-34页 |
| 3.1.1 微纳尺度缺陷形貌演变现象 | 第29-32页 |
| 3.1.2 微纳尺度缺陷演变机理分析 | 第32-34页 |
| 3.2 离子束加工过程中划痕演变规律 | 第34-36页 |
| 3.2.1 划痕缺陷形貌演变现象 | 第34-35页 |
| 3.2.2 划痕缺陷演变机理分析 | 第35-36页 |
| 3.3 离子束加工过程中阈值性能演变 | 第36-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 损伤前驱体联合抑制的后处理工艺研究 | 第39-49页 |
| 4.1 联合工艺加工实验 | 第39-41页 |
| 4.2 不同组合方式的损伤性能测试 | 第41-45页 |
| 4.2.1 激光损伤阈值测试 | 第41页 |
| 4.2.2 光热弱吸收检测 | 第41-43页 |
| 4.2.3 表面粗糙度检测 | 第43-45页 |
| 4.3 不同联合工艺损伤抑制能力比较与讨论 | 第45-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 总结与展望 | 第49-51页 |
| 5.1 全文总结 | 第49-50页 |
| 5.2 研究展望 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第57页 |