| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9页 |
| 1.2 微纳光学传感器概况 | 第9-11页 |
| 1.3 光学回音壁微腔及其传感应用研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3.1 光学回音壁微腔的发展 | 第11-12页 |
| 1.3.2 光学回音壁微腔耦合机制的研究 | 第12-13页 |
| 1.3.3 光学回音壁微腔传感器研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3.4 研究现状分析 | 第16页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 微盘腔传感器基本理论 | 第18-24页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 光学回音壁谐振腔理论 | 第18-21页 |
| 2.2.1 谐振波长 | 第18-19页 |
| 2.2.2 品质因数 | 第19-20页 |
| 2.2.3 模体积 | 第20-21页 |
| 2.2.4 损耗分类 | 第21页 |
| 2.3 微腔传感器基本工作原理 | 第21-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 片上微纳光学结构综合设计 | 第24-37页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 微盘腔与微环腔的光谱特性比较 | 第24-27页 |
| 3.2.1 硅基微盘在蔗糖水溶液中的光谱特性探究 | 第24-25页 |
| 3.2.2 硅基微环光谱特性的实验探究 | 第25-27页 |
| 3.3 端面入射耦合机制的特性探究 | 第27-30页 |
| 3.4 光栅耦合器的参数优化 | 第30-35页 |
| 3.4.1 光栅耦合器耦合效率的仿真计算 | 第30-35页 |
| 3.4.2 光栅耦合器耦合效率的实验验证 | 第35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 微盘腔传感器的制备 | 第37-43页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 硅基微盘制备工艺 | 第37-40页 |
| 4.2.1 光刻原理概述 | 第37-38页 |
| 4.2.2 硅基微盘制备流程 | 第38-40页 |
| 4.3 PDMS微流通道制备方法 | 第40-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 微盘传感器的性能测试 | 第43-54页 |
| 5.1 引言 | 第43页 |
| 5.2 光学测试系统 | 第43-45页 |
| 5.3 温度传感实验 | 第45-49页 |
| 5.3.1 温度传感实验的基本步骤和注意事项 | 第45-46页 |
| 5.3.2 温度传感实验结果分析 | 第46-49页 |
| 5.4 液体环境折射率传感实验 | 第49-52页 |
| 5.4.1 折射率传感实验的主要内容和实验结果 | 第49-52页 |
| 5.4.2 液体折射率传感的验证和传感器性能综合分析 | 第52页 |
| 5.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |