| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 引言 | 第12-14页 |
| 1.2 铝合金反射镜制造流程 | 第14-23页 |
| 1.2.1 SPDT加工表面粗糙度影响因素 | 第14-19页 |
| 1.2.2 铝合金反射镜的古典制造方法 | 第19-21页 |
| 1.2.3 铝合金反射镜的先进制造方法 | 第21-23页 |
| 1.3 SPDT面形误差检测方式 | 第23-25页 |
| 1.3.1 原位检测 | 第23-24页 |
| 1.3.2 离线检测 | 第24-25页 |
| 1.4 光学表面质量评价指标 | 第25-26页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 SPDT加工原位误差来源 | 第28-46页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 SPDT原位加工误差分类 | 第28-43页 |
| 2.2.1 系统误差 | 第28-39页 |
| 2.2.2 人为误差 | 第39-43页 |
| 2.2.3 随机误差 | 第43页 |
| 2.3 本章小结 | 第43-46页 |
| 第3章 基于电容位移传感器的SPDT机床误差检测 | 第46-62页 |
| 3.1 引言 | 第46页 |
| 3.2 电容位移传感器 | 第46-50页 |
| 3.2.1 电容位移传感器的检测原理 | 第46-47页 |
| 3.2.2 电容位移传感器的结构 | 第47-48页 |
| 3.2.3 电容位移传感器的空间分辨率 | 第48页 |
| 3.2.4 电容位移传感器非线性误差来源 | 第48-50页 |
| 3.3 电容位移传感器的测量线性度标定 | 第50-52页 |
| 3.4 基于电容位移传感器的原位检测系统 | 第52-53页 |
| 3.5 SPDT机床误差检测 | 第53-60页 |
| 3.5.1 SPDT机床垂直度误差原位检测 | 第53-56页 |
| 3.5.2 SPDT机床主轴旋转热效应检测 | 第56-60页 |
| 3.6 本章小结 | 第60-62页 |
| 第4章 基于电容位移传感器的反射镜面形原位检测 | 第62-84页 |
| 4.1 引言 | 第62页 |
| 4.2 检测过程 | 第62-64页 |
| 4.2.1 检测方式与检测路径规划 | 第62-63页 |
| 4.2.2 检测数据的上升沿触发记录模式 | 第63-64页 |
| 4.3 电容位移传感器的装调 | 第64-68页 |
| 4.3.1 电容位移传感器相对于被测面倾斜角调整 | 第64-66页 |
| 4.3.2 电容位移传感器的高度调整与旋转臂长度测量 | 第66-67页 |
| 4.3.3 电容位移传感器工具坐标系X坐标零点调整 | 第67-68页 |
| 4.4 检测结果线性误差校正 | 第68-70页 |
| 4.5 加工程序坐标点计算与面形重构 | 第70-71页 |
| 4.6 原位面形检测实验 | 第71-75页 |
| 4.6.1 原位面形检测重复性精度 | 第71-73页 |
| 4.6.2 原位面形检测的检测精度 | 第73-75页 |
| 4.7 基于原位面形检测的补偿切削 | 第75-77页 |
| 4.8 高速旋转状态下电容位移传感器检测噪声的分析与抑制 | 第77-83页 |
| 4.8.1 高速旋转状态下电容位移传感器检测噪声来源 | 第78-80页 |
| 4.8.2 双探头检测模式抑制高速旋转状态下的检测电噪声 | 第80-83页 |
| 4.9 本章小结 | 第83-84页 |
| 第5章 SPDT加工表面的中、高频误差抑制 | 第84-106页 |
| 5.1 引言 | 第84页 |
| 5.2 非牛顿流体磨盘的理论 | 第84-94页 |
| 5.2.1 粘弹性非牛顿流体的静态与动态力学分析方法 | 第85-90页 |
| 5.2.2 非牛顿流体磨盘时间相关平滑效应理论 | 第90-94页 |
| 5.3 结合机械化学抛光方法的非牛顿流体磨盘抛光铝合金反射镜实验 | 第94-104页 |
| 5.3.1 SPDT加工后的表面质量评价 | 第94-98页 |
| 5.3.2 抛光后的表面质量评价 | 第98-104页 |
| 5.4 本章小结 | 第104-106页 |
| 第6章 工作展望 | 第106-112页 |
| 6.1 总结 | 第106-109页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第109页 |
| 6.3 展望 | 第109-112页 |
| 参考文献 | 第112-118页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
