| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第1章 引言 | 第14-34页 |
| 1.1 研究大口径光学平面镜面形检测技术的必要性 | 第14-19页 |
| 1.1.1 大口径光学系统的广泛应用 | 第14-15页 |
| 1.1.2 大口径光学系统对大口径平面镜的需求 | 第15-18页 |
| 1.1.3 研究大口径平面镜面形检测技术的必要性 | 第18-19页 |
| 1.2 大口径平面镜面形检测的现有方法 | 第19-23页 |
| 1.2.1 三坐标测量机法 | 第19页 |
| 1.2.2 大口径平面干涉仪直接测量法 | 第19-20页 |
| 1.2.3 子孔径拼接法 | 第20-21页 |
| 1.2.4 Ritchey-Common法 | 第21页 |
| 1.2.5 Skip-Flat法 | 第21-22页 |
| 1.2.6 五棱镜扫描法 | 第22-23页 |
| 1.3 五棱镜扫描法的研究现状 | 第23-30页 |
| 1.3.1 长轨迹轮廓仪(LTP)系统 | 第23-25页 |
| 1.3.2 纳米光学测量仪(NOM) | 第25-26页 |
| 1.3.3 扩展剪切角差(ESAD)测量系统 | 第26-28页 |
| 1.3.4 角差法测试系统 | 第28-29页 |
| 1.3.5 双五棱镜系统 | 第29-30页 |
| 1.3.6 精密自准直偏转扫描(EADS)系统 | 第30页 |
| 1.4 各种扫描方法的特点分析 | 第30-32页 |
| 1.5 本文提出的检测方法 | 第32页 |
| 1.6 课题来源及研究意义 | 第32页 |
| 1.7 本论文的主要研究内容 | 第32-34页 |
| 第2章 1.5m口径平面镜面形检测系统和检测方法 | 第34-54页 |
| 2.1 检测系统 | 第34-36页 |
| 2.2 检测方法 | 第36-53页 |
| 2.2.1 表面倾角差值的测量 | 第36-39页 |
| 2.2.2 扫描路径 | 第39-40页 |
| 2.2.3 被测平面镜面形的计算方法 | 第40-45页 |
| 2.2.4 检测注意事项 | 第45-47页 |
| 2.2.5 1.5m口径平面镜检测的参数匹配与选择 | 第47-50页 |
| 2.2.6 检测方法的仿真分析 | 第50-53页 |
| 2.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 五棱镜的误差特性研究 | 第54-82页 |
| 3.1 五棱镜的旋转误差对出射光方向的影响 | 第54-64页 |
| 3.1.1 五棱镜的作用矩阵 | 第54-55页 |
| 3.1.2 坐标转换公式 | 第55-56页 |
| 3.1.3 求五棱镜旋转后的出射光向量 | 第56-57页 |
| 3.1.4 求出射光的偏摆角和俯仰角的变化 | 第57-60页 |
| 3.1.5 垂直入射的情况 | 第60-61页 |
| 3.1.6 计算结果 | 第61-64页 |
| 3.2 五棱镜的制造角差对出射光方向的影响 | 第64-71页 |
| 3.2.1 五棱镜没有制造角差时的光路计算 | 第64-65页 |
| 3.2.2 五棱镜制造角差的影响分析 | 第65-71页 |
| 3.3 五棱镜基本系统的误差公式的推导 | 第71-79页 |
| 3.3.1 五棱镜基本系统及其倾斜误差角 | 第71-72页 |
| 3.3.2 光线矢量追迹 | 第72-76页 |
| 3.3.3 误差公式的推导 | 第76-79页 |
| 3.4 五棱镜倾斜变化量的监视与自动调整 | 第79-80页 |
| 3.5 本章小结 | 第80-82页 |
| 第4章 检测系统的精密调整技术研究 | 第82-98页 |
| 4.1 旋转臂的位置定义 | 第82-83页 |
| 4.2 粗调整 | 第83-87页 |
| 4.2.1 调整步骤 | 第83-87页 |
| 4.2.2 粗调整小结 | 第87页 |
| 4.3 精调整 | 第87-96页 |
| 4.3.1 精调整的内容 | 第88页 |
| 4.3.2 精调整的基准和目标 | 第88-90页 |
| 4.3.3 Yaw测试并且调整αst | 第90-92页 |
| 4.3.4 Roll测试并且调整γpp | 第92-95页 |
| 4.3.5 调整βst | 第95页 |
| 4.3.6 调整αpp | 第95-96页 |
| 4.3.7 精调整的步骤 | 第96页 |
| 4.4 本章小结 | 第96-98页 |
| 第5章 1.5m口径平面镜面形检测系统的误差分析 | 第98-114页 |
| 5.1 旋转臂倾斜误差的测量 | 第98-100页 |
| 5.2 1.5 m口径平面镜面形检测的误差分析 | 第100-112页 |
| 5.2.1 倾斜误差 | 第100-105页 |
| 5.2.2 自准直仪1的测量误差 | 第105页 |
| 5.2.3 测量点的位置误差 | 第105-109页 |
| 5.2.4 五棱镜的制造角差 | 第109页 |
| 5.2.5 环境变化带来的误差 | 第109-110页 |
| 5.2.6 表面倾角差值δ的误差汇总 | 第110-111页 |
| 5.2.7 仿真分析确定面形检测精度 | 第111-112页 |
| 5.3 本章小结 | 第112-114页 |
| 第6章 1.5m口径平面镜面形的检测实验 | 第114-122页 |
| 6.1 检测实验 | 第114-115页 |
| 6.2 检测结果 | 第115-118页 |
| 6.3 与Ritchey-Common法的检测结果作比较 | 第118-120页 |
| 6.4 本章小结 | 第120-122页 |
| 第7章 结论与展望 | 第122-126页 |
| 7.1 结论 | 第122-124页 |
| 7.1.1 完成的主要工作 | 第122-123页 |
| 7.1.2 误差抑制手段的总结 | 第123-124页 |
| 7.1.3 本文的创新点 | 第124页 |
| 7.2 展望 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-134页 |
| 致谢 | 第134-136页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第136-137页 |