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基于柔性基体的ZnO薄膜的制备及光电性能研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-20页
    1.1 透明导电薄膜第9-10页
    1.2 基于柔性基体的ZnO薄膜的基本性质第10-13页
        1.2.1 ZnO的晶体结构第10-11页
        1.2.2 ZnO的光学性质第11-12页
        1.2.3 ZnO的电学性质第12-13页
    1.3 ZnO基柔性透明导电薄膜的研究进展及应用前景第13-15页
        1.3.1 ZnO基柔性导电薄膜的研究进展第13-14页
        1.3.2 ZnO基柔性导电薄膜的应用前景第14-15页
    1.4 缓冲层对ZnO基柔性薄膜结构及性能的影响第15-16页
    1.5 掺杂元素对ZnO基柔性薄膜结构及性能的影响第16-18页
    1.6 本论文的研究内容及意义第18-20页
第2章 ZnO柔性薄膜的制备技术及性能表征方法第20-29页
    2.1 AZO/Al_2O_3/ZnO薄膜的制备第20-23页
        2.1.1 溅射镀膜的原理第20-22页
        2.1.2 AZO薄膜的制备第22-23页
    2.2 薄膜工艺参数的确定第23-25页
    2.3 AZO薄膜性能表征方法第25-28页
    2.4 本章小结第28-29页
第3章 Al_2O_3缓冲层的AZO薄膜性能研究及机理分析第29-41页
    3.1 Al_2O_3缓冲层对薄膜结构性能的影响第30-34页
    3.2 Al_2O_3缓冲层对薄膜表面形貌的影响第34-37页
    3.3 Al_2O_3缓冲层对薄膜光学性能的影响第37-38页
    3.4 Al_2O_3缓冲层对薄膜电学性能的影响第38-39页
    3.5 本章小结第39-41页
第4章 不同Al含量对ZnO基薄膜性能的影响第41-50页
    4.1 不同Al含量对薄膜结构性能的影响第41-42页
    4.2 不同Al掺杂量对薄膜表面形貌的影响第42-44页
    4.3 不同Al含量对薄膜光学性能的影响第44-46页
    4.4 不同Al含量对薄膜电学性能的影响第46-49页
    4.5 本章小结第49-50页
第5章 结论与展望第50-52页
    5.1 结论第50页
    5.2 展望第50-52页
致谢第52-53页
参考文献第53-60页
作者简介第60-61页
攻读硕士学位期间研究成果第61页

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