PMN-PT单晶柔性压电能量采集器研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题的研究依据和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 柔性能量采集器国内外发展现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 柔性压电能量采集器研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 柔性摩擦能量采集器研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 2 柔性压电能量采集器设计原理 | 第16-30页 |
| 2.1 压电材料概述 | 第16-19页 |
| 2.1.1 发展历程及压电效应 | 第16-18页 |
| 2.1.2 关键参数 | 第18-19页 |
| 2.2 铁电体及弛豫铁电体概述 | 第19-23页 |
| 2.2.1 铁电体简介 | 第19-22页 |
| 2.2.2 弛豫铁电体简介 | 第22-23页 |
| 2.3 钙钛矿及PMN-PT概述 | 第23-26页 |
| 2.3.1 钙钛矿结构 | 第23-25页 |
| 2.3.2 PMN-PT简介 | 第25-26页 |
| 2.4 压电材料理论 | 第26-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 柔性压电能量采集器结构设计与仿真 | 第30-40页 |
| 3.1 Comsol软件简介 | 第30-31页 |
| 3.2 器件仿真步骤 | 第31-34页 |
| 3.3 仿真结果分析对比 | 第34-39页 |
| 3.3.1 PMN-PT厚度的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.2 叉指间距的影响 | 第35-37页 |
| 3.3.3 与PZT仿真对比 | 第37-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 柔性压电能量采集器工艺研究及加工 | 第40-59页 |
| 4.1 化学机械抛光工艺理论 | 第40-44页 |
| 4.2 工艺流程设计 | 第44-46页 |
| 4.3 PMN-PT单晶表征 | 第46-50页 |
| 4.4 叉指电极的制备 | 第50-53页 |
| 4.4.1 叉指电极的图形化 | 第50-52页 |
| 4.4.2 溅射剥离工艺 | 第52-53页 |
| 4.5 化学机械抛光工艺加工 | 第53-56页 |
| 4.5.1 粘片 | 第54-55页 |
| 4.5.2 减薄和抛光 | 第55-56页 |
| 4.6 单晶片与PET基底异质集成 | 第56-57页 |
| 4.7 引线与极化 | 第57-58页 |
| 4.8 本章小结 | 第58-59页 |
| 5 柔性压电能量采集器性能表征 | 第59-62页 |
| 5.1 测试平台搭建 | 第59-60页 |
| 5.2 测试数据分析 | 第60-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 6 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 论文的主要研究内容及结论 | 第62页 |
| 6.2 论文创新点 | 第62页 |
| 6.3 工作展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
