| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 第1章 绪论 | 第16-36页 |
| 1.1 论文研究背景 | 第16-17页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第17-32页 |
| 1.2.1 微装配系统技术国内外现状 | 第17-27页 |
| 1.2.2 微装配系统概念设计方法及优化方法国内外现状 | 第27-31页 |
| 1.2.3 存在的主要问题 | 第31-32页 |
| 1.3 研究意义和目的 | 第32-34页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第32-33页 |
| 1.3.2 研究目的 | 第33-34页 |
| 1.3.3 论文的项目来源 | 第34页 |
| 1.4 各章简介 | 第34-36页 |
| 第2章 面向非硅 MEMS 的可重配置微装配系统总体技术 | 第36-66页 |
| 2.1 非硅 MEMS 件特点及装配需求分析 | 第36-39页 |
| 2.1.1 非硅 MEMS 件特点分析 | 第36-37页 |
| 2.1.2 非硅 MEMS 件装配需求分析 | 第37-39页 |
| 2.2 可重配置微装配系统概述 | 第39-41页 |
| 2.2.1 可重配置微装配系统简介 | 第39-40页 |
| 2.2.2 可重配置微装配系统技术要求 | 第40-41页 |
| 2.2.3 可重配置微装配系统基本功能 | 第41页 |
| 2.3 可重配置微装配系统总体关键技术 | 第41-65页 |
| 2.3.1 装配系统组织结构形式 | 第43-45页 |
| 2.3.2 系统输送线配置技术 | 第45-48页 |
| 2.3.3 系统自动送料技术 | 第48-49页 |
| 2.3.4 微装配系统高精度位姿检测技术 | 第49-55页 |
| 2.3.5 微装配系统高精度位姿调整技术 | 第55-58页 |
| 2.3.6 微小型结构件无损伤柔性夹持技术 | 第58-61页 |
| 2.3.7 微装配系统的气路技术 | 第61-63页 |
| 2.3.8 可重配置微装配系统的控制方式 | 第63-65页 |
| 2.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第3章 可重配置微装配系统模块化设计方法 | 第66-93页 |
| 3.1 可重配置微装配系统模块化设计原理 | 第66-72页 |
| 3.1.1 模块化设计的意义 | 第66-67页 |
| 3.1.2 模块化实施的理论基础 | 第67-68页 |
| 3.1.3 可重配置微装配系统模块化设计特点 | 第68页 |
| 3.1.4 可重配置微装配系统模块化设计原理 | 第68-72页 |
| 3.2 可重配置微装配系统产品系列型谱确定 | 第72-76页 |
| 3.2.1 系统功能需求分析 | 第72-74页 |
| 3.2.2 确定系列型谱及主要参数 | 第74-75页 |
| 3.2.3 系统功能分解 | 第75-76页 |
| 3.3 可重配置微装配系统模块划分原则 | 第76-78页 |
| 3.3.1 通用模块划分原则 | 第77页 |
| 3.3.2 专用模块划分原则 | 第77-78页 |
| 3.4 可重配置微装配系统模块划分方法 | 第78-83页 |
| 3.4.1 功能相关性分析 | 第78-83页 |
| 3.4.2 模糊聚类分析 | 第83页 |
| 3.5 可重配置微装配系统模块划分评价准则与指标 | 第83-85页 |
| 3.6 实例分析 | 第85-92页 |
| 3.7 本章小结 | 第92-93页 |
| 第4章 可重配置微装配系统多目标优化方法 | 第93-134页 |
| 4.1 可重配置微装配系统多目标优化设计模型 | 第93-96页 |
| 4.1.1 设计变量空间与目标函数空间 | 第93-94页 |
| 4.1.2 可重配置微装配系统多目标优化问题模型 | 第94-95页 |
| 4.1.3 Pareto 最优解 | 第95-96页 |
| 4.2 基于浮点数与二进制混合编码的改进遗传算法原理 | 第96-108页 |
| 4.2.1 遗传算法理论基础 | 第96-97页 |
| 4.2.2 基于浮点数与二进制的混合编码方法 | 第97-100页 |
| 4.2.3 群体设定 | 第100页 |
| 4.2.4 改进遗传算子的确定 | 第100-105页 |
| 4.2.5 遗传算法性能评估 | 第105-106页 |
| 4.2.6 策略性参数确定 | 第106-107页 |
| 4.2.7 改进的遗传算法计算流程 | 第107-108页 |
| 4.3 可重配置微装配系统拓扑结构优化 | 第108-117页 |
| 4.3.1 设计要素的基因表达 | 第108-110页 |
| 4.3.2 建立相容性矩阵 | 第110-115页 |
| 4.3.3 建立微装配系统多目标优化函数模型 | 第115页 |
| 4.3.4 可重配置微装配系统遗传进化与结果分析 | 第115-117页 |
| 4.4 可重配置微装配系统关键设计指标优化 | 第117-132页 |
| 4.4.1 转台设计参数优化 | 第117-125页 |
| 4.4.2 自主式装配单元结构尺寸优化 | 第125-132页 |
| 4.5 本章小结 | 第132-134页 |
| 第5章 自主式装配单元动态特性研究 | 第134-146页 |
| 5.1 自主式装配单元模态分析基础 | 第134-136页 |
| 5.1.1 自主式装配单元结构 | 第134-135页 |
| 5.1.2 模态分析的理论基础 | 第135-136页 |
| 5.2 自主式装配单元的有限元建模 | 第136-138页 |
| 5.2.1 自主式装配单元有限元模型构建 | 第136-137页 |
| 5.2.2 自主式装配单元模态分析结果 | 第137-138页 |
| 5.3 自主式装配单元试验模态分析 | 第138-145页 |
| 5.3.1 模态试验系统搭建 | 第139-140页 |
| 5.3.2 模态测试 | 第140-143页 |
| 5.3.3 模态参数与装配工艺设定 | 第143-145页 |
| 5.4 本章小结 | 第145-146页 |
| 第6章 自主式装配单元精度分析与装配试验研究 | 第146-168页 |
| 6.1 自主式装配单元误差建模方法 | 第146-153页 |
| 6.1.1 自主式装配单元坐标系定义 | 第147-149页 |
| 6.1.2 基于多体系统运动学理论的误差建模方法 | 第149-153页 |
| 6.2 误差测量与补偿方法 | 第153-162页 |
| 6.2.1 装配执行模块直线度误差测量与补偿 | 第154-158页 |
| 6.2.2 微调模块水平度测定与补偿 | 第158-160页 |
| 6.2.3 装配执行模块末端水平位姿测定与补偿 | 第160-162页 |
| 6.2.4 检测模块误差测定 | 第162页 |
| 6.3 误差综合 | 第162-163页 |
| 6.4 装配序列规划与装配试验 | 第163-167页 |
| 6.4.1 装配序列规划 | 第163-165页 |
| 6.4.2 装配试验 | 第165-167页 |
| 6.5 本章小结 | 第167-168页 |
| 第7章 总结与展望 | 第168-172页 |
| 7.1 主要研究工作总结 | 第168-170页 |
| 7.2 论文的主要创新点 | 第170-171页 |
| 7.3 建议与展望 | 第171-172页 |
| 参考文献 | 第172-182页 |
| 附录1 可重配置微装配系统图纸（部分） | 第182-185页 |
| 附录2 微调模块直线位移台精度测定 | 第185-186页 |
| 附录3 模块划分各子相关矩阵 | 第186-189页 |
| 攻读学位期间研究成果清单 | 第189-191页 |
| 致谢 | 第191-193页 |
| 作者简介 | 第193页 |
