| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 课题的研究思路与研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 课题的基本研究思路 | 第9-10页 |
| 1.2.2 超精密车削镜面三维形貌的建模与分析 | 第10-11页 |
| 1.2.3 超精密车削镜面散射的相关研究 | 第11-12页 |
| 1.2.4 散射现象的控制方法研究 | 第12-15页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 超精密车削镜面三维形貌的建模与分析 | 第16-36页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 基于最小切削厚度理论的形貌建模与分析 | 第16-24页 |
| 2.2.1 刀尖轨迹模型的建立 | 第16-17页 |
| 2.2.2 理想表面三维形貌的建立 | 第17-21页 |
| 2.2.3 振动情形下表面三维形貌的建立 | 第21-22页 |
| 2.2.4 形貌建模的仿真与验证 | 第22-23页 |
| 2.2.5 最小切削厚度与表面粗糙度的关系 | 第23-24页 |
| 2.3 振动对超精密车削表面三维形貌影响分析 | 第24-26页 |
| 2.4 超精密车削工件表面功率谱密度的分析 | 第26-30页 |
| 2.4.1 傅里叶变换和功率谱密度的定义 | 第26-27页 |
| 2.4.2 功率谱密度与光学散射的关系 | 第27-30页 |
| 2.5 超精密车削镜面表面形貌仿真分析一体化软件的编写 | 第30-35页 |
| 2.5.1 软件总体功能的简介 | 第30-32页 |
| 2.5.2 形貌仿真模块界面与使用 | 第32-33页 |
| 2.5.3 形貌分析模块界面与使用 | 第33-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 超精密车削镜面光学散射的理论建模与分析 | 第36-52页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 金属表面的光学性质 | 第36-39页 |
| 3.3 超精密车削镜面镜向光强模型的建立与分析 | 第39-50页 |
| 3.3.1 光波在空气中传播模型的建立 | 第39-41页 |
| 3.3.2 光波在空气中散射场分布计算 | 第41-42页 |
| 3.3.3 夫琅禾费积分的引入与计算 | 第42-43页 |
| 3.3.4 超精密车削镜面的反射变换与计算 | 第43-47页 |
| 3.3.5 超精密车削镜面镜向散射光的分析 | 第47-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 光学镜面的超精密车削工艺参数优化与光学性能验证 | 第52-65页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 镜面超精密车削工艺参数优化 | 第52-60页 |
| 4.2.1 神经网络的简介及其应用 | 第52-53页 |
| 4.2.2 模拟退火算法与粒子群优化算法的简介 | 第53-55页 |
| 4.2.3 光学镜面的超精密车削的加工过程 | 第55-60页 |
| 4.3 超精密车削镜面的光学性能验证 | 第60-62页 |
| 4.3.1 光学实验平台的搭建 | 第60-61页 |
| 4.3.2 中心光斑的测量 | 第61-62页 |
| 4.4 对镜面加工的进一步分析与探索 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-75页 |
| 致谢 | 第75页 |