硅微通道板结构的热电性能研究

摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-8页
目录	第8-9页
第一章 硅微通道板及热电效应概述	第9-25页
·硅微通道板的简介	第9-10页
·硅微通道板的研究现状与应用	第10-13页
·热电效应概述	第13-18页
·热电材料的研究现状	第18-22页
·本文研究内容	第22页
·本文研究的重要意义	第22-24页
本章参考文献	第24-25页
第二章 硅微通道板的制造原理及其工艺过程	第25-45页
·电化学深刻蚀形成P型多孔硅的基本原理	第25-28页
·硅微通道板的制造工艺流程概述	第28-39页
·实验结果及分析	第39-44页
本章参考文献	第44-45页
第三章 B二硅化铁硅微通道板结构制作	第45-59页
·镀铁	第45-50页
·退火工艺	第50-51页
·B二硅化铁硅的XRD分析	第51-53页
·B二硅化铁硅材料的热电特性	第53-58页
本章参考文献	第58-59页
第四章 硅微通道板结构的热电特性	第59-74页
·测试平台	第59-63页
·塞贝克效应和珀尔帖效应测试	第63-66页
·实验结果及分析	第66-73页
本章参考文献	第73-74页
第五章 总结与展望	第74-77页
·结论	第74-75页
·硅基微通道结构在热电方面的运用展望	第75-76页
本章参考文献	第76-77页
攻读学位期间发表的学术论文目录	第77-78页
致谢	第78页