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电沉积铜箔的工艺参数和拉伸性能研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
第一章 绪论第8-22页
    1.1 引言第8页
    1.2 金属电沉积技术第8-13页
        1.2.1 金属电沉积原理第8-10页
        1.2.2 金属电沉积技术的特点第10-11页
        1.2.3 金属电沉积技术的分类第11-13页
            1.2.3.1 静态沉积第11页
            1.2.3.2 动态沉积第11-12页
            1.2.3.3 喷射电沉积第12-13页
        1.2.4 金属电沉积技术的应用第13页
    1.3 铜箔的制备第13-17页
        1.3.1 压延铜箔第14页
        1.3.2 电解铜箔第14-17页
            1.3.2.1 铜在阴极上的沉积原理第14-15页
            1.3.2.2 电解铜箔生产工艺第15页
            1.3.2.3 电解铜存在的主要问题第15-17页
    1.4 铜箔生产国内外发展概况第17-18页
    1.5 电沉积法制备铜箔工艺中添加剂的研究第18-20页
        1.5.1 添加剂的种类及作用机理第18-20页
        1.5.2 添加剂对阴极铜质量的影响第20页
    1.6 电沉积法制备铜箔的研究第20-22页
第二章 电沉积铜箔的工艺参数和拉伸性能研究第22-66页
    2.1 引言第22-23页
    2.2 实验材料及设备第23-24页
        2.2.1 实验材料及试剂第23页
        2.2.2 实验设备第23-24页
    2.3 实验分析方法第24页
        2.3.1 数码照相机第24页
        2.3.2 扫描电子显微镜(SEM)第24页
        2.3.3 电子万能试验机第24页
    2.4 实验过程第24-27页
        2.4.1 电解液配置第24-25页
        2.4.2 实验装置示意图第25页
        2.4.3 实验步骤第25-26页
        2.4.4 拉伸试样的制备第26页
        2.4.5 电沉积铜箔拉伸性能测试第26-27页
    2.5 实验结果与讨论第27-66页
        2.5.1 电沉积铜箔光面与毛面的形貌特点第27-28页
        2.5.2 电解液pH 值对电沉积铜箔的影响第28-32页
            2.5.2.1 电解液pH 值对电沉积速率的影响第28-29页
            2.5.2.2 电解液pH 值对阴极铜宏观形貌的影响第29-30页
            2.5.2.3 电解液pH 值对阴极铜微观形貌的影响第30-31页
            2.5.2.4 pH 值对电沉积铜箔抗拉强度的影响第31-32页
            2.5.2.5 小结第32页
        2.5.3 极板间距对电沉积铜箔的影响第32-37页
            2.5.3.1 极板间距对电沉积速率的影响第32-33页
            2.5.3.2 极板间距对阴极铜宏观形貌的影响第33-34页
            2.5.3.3 极板间距对阴极铜微观形貌的影响第34-36页
            2.5.3.4 极板间距对电沉积铜箔抗拉强度的影响第36-37页
            2.5.3.5 小结第37页
        2.5.4 电流密度对电沉积铜箔的影响第37-57页
            2.5.4.1 直流电沉积电流密度对电沉积速率的影响第37-38页
            2.5.4.2 直流静态电沉积第38-40页
                2.5.4.2.1 电流密度对阴极铜宏观形貌的影响第38-39页
                2.5.4.2.2 电流密度对阴极铜微观形貌的影响第39-40页
            2.5.4.3 直流搅拌态电沉积第40-44页
                2.5.4.3.1 电流密度对阴极铜宏观形貌的影响第40-42页
                2.5.4.3.2 电流密度对阴极铜微观形貌的影响第42-44页
            2.5.4.4 脉冲电沉积第44-53页
                2.5.4.4.1 温度对阴极铜沉积速率的影响第44-45页
                2.5.4.4.2 温度对阴极铜宏观形貌的影响第45-47页
                2.5.4.4.3 温度对阴极铜微观形貌的影响第47-48页
                2.5.4.4.4 电流密度对电沉积速率的影响第48-49页
                2.5.4.4.5 电流密度对阴极铜宏观形貌的影响第49-51页
                2.5.4.4.6 电流密度对阴极铜微观形貌的影响第51-53页
            2.5.4.5 不同电沉积方式中电流密度对电沉积铜箔抗拉强度的影响第53-56页
                2.5.4.5.1 静态直流电沉积与搅拌态直流电沉积的对比第53-54页
                2.5.4.5.2 静态脉冲电沉积与静态直流电沉积的对比第54页
                2.5.4.5.3 不同电沉积方式的对比第54-55页
                2.5.4.5.4 断口形貌分析第55-56页
            2.5.4.6 小结第56-57页
        2.5.5 电解液中添加CuC1_2·2H_2O 对电沉积铜箔的影响第57-60页
            2.5.5.1 CuC1_2·2H_2O 对电沉积速率的影响第57-58页
            2.5.5.2 CuC1_2·2H_2O 对阴极铜宏观形貌的影响第58-59页
            2.5.5.3 CuC1_2·2H_2O 对阴极铜微观形貌的影响第59-60页
            2.5.5.4 小结第60页
        2.5.6 电解液中添加剂对电沉积铜箔的影响第60-66页
            2.5.6.1 添加剂对电沉积速率的影响第61-62页
            2.5.6.2 添加剂对阴极铜宏观形貌的影响第62-64页
            2.5.6.3 添加剂对阴极铜微观形貌的影响第64-65页
            2.5.6.4 小结第65-66页
第三章 全文总结第66-67页
参考文献第67-71页
发表论文和参加科研情况说明第71-72页
致谢第72页

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