| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 MEMS技术的发展现状和应用前景 | 第12-15页 |
| 1.2.1 MEMS技术的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 MEMS的应用前景 | 第13-15页 |
| 1.3 论文研究的目的及主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 微梳齿谐振器的工作原理 | 第17-23页 |
| 2.1 微梳齿谐振器的结构 | 第17-18页 |
| 2.2 微梳齿谐振器的工作原理 | 第18页 |
| 2.3 微梳齿谐振器的静电驱动原理 | 第18-21页 |
| 2.4 微梳齿谐振器的动力学原理 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 微梳齿谐振器的结构分析和优化 | 第23-41页 |
| 3.1 微梳齿谐振器的结构分析 | 第23-26页 |
| 3.1.1 微梳齿谐振器的结构参数 | 第23-24页 |
| 3.1.2 微梳齿谐振器的谐振频率 | 第24-26页 |
| 3.2 基于ANSYS WORKBENCH的微梳齿谐振器的结构分析和优化 | 第26-37页 |
| 3.2.1 结构建模 | 第28-29页 |
| 3.2.2 模态分析 | 第29-33页 |
| 3.2.3 结构参数分析和优化 | 第33-36页 |
| 3.2.4 谐响应分析 | 第36-37页 |
| 3.3 结构分析数据处理 | 第37-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 受空气阻尼影响的微梳齿谐振器动态特性分析 | 第41-53页 |
| 4.1 空气阻尼作用原理分析 | 第41-43页 |
| 4.2 空气阻尼模型 | 第43-44页 |
| 4.3 基于APDL的微梳齿谐振器的动态空气阻尼分析 | 第44-51页 |
| 4.3.1 ANSYS参数化设计语言APDL | 第44-45页 |
| 4.3.2 微梳齿谐振器的简化模型 | 第45-46页 |
| 4.3.3 叉指换能信号端的设置 | 第46-47页 |
| 4.3.4 空气阻尼单元模拟 | 第47-48页 |
| 4.3.5 模态分析和谐分析 | 第48-49页 |
| 4.3.6 实验结果分析 | 第49-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 微带通滤波器的结构分析和优化 | 第53-63页 |
| 5.1 微带通滤波器的工作原理和结构参数 | 第53-54页 |
| 5.2 微带通滤波器的动力学分析 | 第54-58页 |
| 5.3 基于ANSYS WORKBENCH的微带通滤波器的结构分析和优化 | 第58-61页 |
| 5.3.1 模态分析 | 第58-59页 |
| 5.3.2 优化分析 | 第59-60页 |
| 5.3.3 谐响应分析 | 第60-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 总结和展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第71页 |
