| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 纳米多层膜的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.1.1 纳米多层膜的超硬现象及致硬机理 | 第12-14页 |
| 1.1.2 多层薄膜材料韧性增强机制 | 第14-17页 |
| 1.2 纳米复合薄膜 | 第17-20页 |
| 1.2.1 纳米复合薄膜硬度的考察 | 第17-19页 |
| 1.2.2 纳米复合薄膜韧性考察 | 第19-20页 |
| 1.3 碳基硬质薄膜的研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3.1 类金刚石薄膜 | 第20-21页 |
| 1.3.2 非晶碳膜的多层结构以及纳米复合 | 第21-22页 |
| 1.4 非晶碳薄膜的制备方法 | 第22-23页 |
| 1.4.1 磁控溅射 | 第22-23页 |
| 1.4.2 阴极弧沉积 | 第23页 |
| 1.5 论文的选题依据、研究思路和研究内容 | 第23-25页 |
| 1.5.1 本课题的设计思想 | 第23-24页 |
| 1.5.2 本课题的研究内容 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-29页 |
| 第二章 层间模量比对 DLC 多层薄膜的结构和力学性能的影响 | 第29-43页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 实验部分 | 第29-31页 |
| 2.2.1 薄膜制备 | 第29-30页 |
| 2.2.2 薄膜结构表征 | 第30-31页 |
| 2.3 结果和讨论 | 第31-40页 |
| 2.3.1 薄膜的价键和微观结构 | 第31-33页 |
| 2.3.2 薄膜的硬度测试 | 第33-34页 |
| 2.3.3 薄膜韧性的测试 | 第34-35页 |
| 2.3.4 摩擦性能的测试 | 第35-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-43页 |
| 第三章 nc-TiC/a-C:H 纳米复合单层薄膜的制备及其机械性能的研究 | 第43-55页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 实验部分 | 第43-44页 |
| 3.2.1 薄膜制备 | 第43-44页 |
| 3.2.2 薄膜性能表征 | 第44页 |
| 3.3 结果和讨论 | 第44-51页 |
| 3.3.1 薄膜的化学组成和价键结构 | 第44-47页 |
| 3.3.2 晶体结构分析 | 第47-48页 |
| 3.3.3 薄膜的硬度测试 | 第48页 |
| 3.3.4 薄膜的内应力测试 | 第48-50页 |
| 3.3.5 薄膜的摩擦学 | 第50-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 第四章 nc-TiC/a-C:H 纳米复合多层薄膜的制备及机械性能的研究 | 第55-65页 |
| 4.1 引言 | 第55-56页 |
| 4.2 实验部分 | 第56-57页 |
| 4.2.1 薄膜制备 | 第56-57页 |
| 4.2.2 薄膜性能表征 | 第57页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第57-62页 |
| 4.3.1 薄膜的结构表征 | 第57-58页 |
| 4.3.2 薄膜的内应力测试 | 第58页 |
| 4.3.3 薄膜的摩擦学性能测试 | 第58-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 第五章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 主要结论 | 第65-66页 |
| 5.2 进一步研究设想 | 第66-67页 |
| 硕士期间完成的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
