| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-26页 |
| 1.1 声波传感技术概述 | 第9-10页 |
| 1.2 光纤声波传感器研究现状 | 第10-23页 |
| 1.2.1 基于光强度调制的光纤声波传感器 | 第10-14页 |
| 1.2.2 基于光波长调制的光纤声波传感器 | 第14-17页 |
| 1.2.3 基于光相位调制的光纤声波传感器 | 第17-23页 |
| 1.3 光纤内的微型悬锥结构制备 | 第23-25页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 光纤微腔传感结构的光传输特性模拟仿真 | 第26-43页 |
| 2.1 光纤密封微腔干涉理论 | 第26-29页 |
| 2.2 光纤密封微腔应力灵敏度和腔长关系模拟 | 第29-31页 |
| 2.3 光纤密封微腔腔长对声压灵敏度的影响 | 第31-37页 |
| 2.4 内置悬梁式光纤微腔的灵敏度模拟 | 第37-42页 |
| 2.4.1 内置悬梁式光纤微腔应变灵敏度模拟 | 第37-38页 |
| 2.4.2 内置悬梁式光纤微腔声压灵敏度模拟 | 第38-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 光纤密封微腔的制备及传感特性研究 | 第43-55页 |
| 3.1 光纤密封微腔的制备 | 第43-46页 |
| 3.2 光纤密封微腔应变传感实验 | 第46-49页 |
| 3.3 光纤密封微腔声波传感实验 | 第49-53页 |
| 3.3.1 腔长对光纤密封微腔声压灵敏度的影响 | 第49-52页 |
| 3.3.2 光纤密封微腔声波频率响应特性 | 第52-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 内置悬梁式光纤微腔的制备及其传感特性研究 | 第55-66页 |
| 4.1 内置悬梁式光纤微腔的制备 | 第55-58页 |
| 4.1.1 光纤悬梁的制备 | 第55-57页 |
| 4.1.2 光纤悬梁与光纤微腔的集成 | 第57-58页 |
| 4.2 内置悬梁式光纤微腔的应变传感实验 | 第58-60页 |
| 4.3 内置悬梁式光纤微腔的声波传感特性研究 | 第60-65页 |
| 4.3.1 腔长对内置悬梁式光纤微腔声压灵敏度的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.2 内置悬梁式光纤微腔声波频率响应特性 | 第61-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 致谢 | 第74页 |