大气等离子体发生技术及工艺研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景及目的 | 第8页 |
| 1.2 大气等离子体技术国内外研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 课题的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 1.4 论文章节安排 | 第13-14页 |
| 2 实验原理及方法 | 第14-24页 |
| 2.1 大气等离子体射流 | 第14-15页 |
| 2.2 大气等离子体发生技术 | 第15-20页 |
| 2.2.1 直流电弧方式 | 第17-18页 |
| 2.2.2 平板式射频电容耦合方式 | 第18-19页 |
| 2.2.3 同轴式射频电容耦合方式 | 第19-20页 |
| 2.3 大气等离子体射流去除技术 | 第20-21页 |
| 2.4 实验方法 | 第21-23页 |
| 2.4.1 实验基础 | 第21-22页 |
| 2.4.2 技术路线图 | 第22页 |
| 2.4.3 工艺实验流程 | 第22-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 大气等离子体发生装置的研究 | 第24-33页 |
| 3.1 第一代电弧方式等离子体发生装置 | 第24-25页 |
| 3.1.1 第一代电弧方式等离子体炬的设计 | 第25页 |
| 3.2 第一代电弧方式等离子体炬存在的问题 | 第25-28页 |
| 3.3 第一代电弧方式等离子体发生装置的改进 | 第28-30页 |
| 3.3.1 电极材料对加工的影响 | 第28-29页 |
| 3.3.2 反应气体对加工的影响 | 第29-30页 |
| 3.4 第二代电弧方式等离子体发生装置 | 第30-32页 |
| 3.4.1 反应气体的供气方式对加工的影响 | 第30-31页 |
| 3.4.2 反应气体与载气的作用时间对加工的影响 | 第31-32页 |
| 3.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 4 大气等离子体加工工艺研究 | 第33-42页 |
| 4.1 单点去除单因素实验 | 第34-38页 |
| 4.1.1 作用距离对去除速率的影响 | 第34-36页 |
| 4.1.2 氮气压力对去除速率的影响 | 第36-37页 |
| 4.1.3 反应气体流量对去除速率的影响 | 第37-38页 |
| 4.1.4 氧气与反应气体比例对去除速率的影响 | 第38页 |
| 4.2 正交试验 | 第38-40页 |
| 4.2.1 交试验设计 | 第39页 |
| 4.2.2 交试验结果分析 | 第39-40页 |
| 4.3 最佳工艺参数面去除的实验探索 | 第40-41页 |
| 4.3.1 行距对粗糙度的影响 | 第40-41页 |
| 4.3.2 扫描速度对粗糙度的影响 | 第41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 5 射频电容耦合等离子体发生装置的探索 | 第42-47页 |
| 5.1 平板式射频电容耦合等离子体发生装置的探索 | 第42-44页 |
| 5.1.1 等离子体发生装置系统组成 | 第42-43页 |
| 5.1.2 等离子体炬的设计 | 第43-44页 |
| 5.1.3 气体放电的研究 | 第44页 |
| 5.2 同轴式射频电容耦合等离子体发生装置的探索 | 第44-46页 |
| 5.2.1 等离子体发生装置系统组成 | 第45页 |
| 5.2.2 气体放电的研究 | 第45-46页 |
| 5.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 6 结论 | 第47-50页 |
| 6.1 结论 | 第47页 |
| 6.2 展望 | 第47-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-54页 |
