多路外差光栅干涉信号相位测量方法研究
| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.1.1 外差光栅测量的意义 | 第12页 |
| 1.1.2 多路相位差测量的重要性 | 第12-13页 |
| 1.2 相位测量研究现状 | 第13-17页 |
| 1.2.1 相位测量方法简介 | 第13-16页 |
| 1.2.2 国内外研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 本文的主要研究工作与内容安排 | 第17-19页 |
| 第二章 光路原理及相位测量系统总体设计 | 第19-25页 |
| 2.1 双波长二维光栅平面位移测量原理 | 第19-22页 |
| 2.2 相位测量系统设计 | 第22-24页 |
| 2.2.1 系统总体设计 | 第22-23页 |
| 2.2.2 前端电子学设计 | 第23页 |
| 2.2.3 模拟电路设计 | 第23-24页 |
| 2.2.4 数字电路及上位机显示设计 | 第24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 模拟信号调理电路设计 | 第25-38页 |
| 3.1 光电探测器 | 第25-26页 |
| 3.2 电源电路模块 | 第26-29页 |
| 3.3 放大电路设计 | 第29-33页 |
| 3.3.1 光电检测转换电路 | 第29-31页 |
| 3.3.2 主放大电路 | 第31-32页 |
| 3.3.3 前端电子学整体结构 | 第32-33页 |
| 3.4 信号混频整形电路设计 | 第33-37页 |
| 3.4.1 混频降频模块 | 第33-35页 |
| 3.4.2 信号整形模块 | 第35-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 数字信号相位测量及显示模块设计 | 第38-50页 |
| 4.1 FPGA概述 | 第38-40页 |
| 4.1.1 FPGA简介 | 第38-40页 |
| 4.1.2 开发工具及Verilog HDL | 第40页 |
| 4.2 FPGA电路系统设计 | 第40-45页 |
| 4.2.1 FPGA供电电源电路 | 第41-42页 |
| 4.2.2 FPGA配置模式设计 | 第42-44页 |
| 4.2.3 串口通信 | 第44-45页 |
| 4.3 多路信号相位同步测量方法 | 第45-47页 |
| 4.3.1 整小数结合的相位测量方法 | 第45-46页 |
| 4.3.2 多路同步相位测量方法 | 第46-47页 |
| 4.4 上位机显示界面设计 | 第47-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 多路信号相位测量系统性能测试实验 | 第50-62页 |
| 5.1 系统性能测试方法 | 第50-51页 |
| 5.2 性能测试辅助设备介绍 | 第51-52页 |
| 5.3 前端电子学测试实验 | 第52-53页 |
| 5.4 模拟电路性能测试 | 第53-54页 |
| 5.5 数字电路性能测试 | 第54-57页 |
| 5.5.1 分辨率测试实验 | 第55-56页 |
| 5.5.2 同步性测试实验 | 第56-57页 |
| 5.6 系统整体性能测试及误差分析 | 第57-61页 |
| 5.6.1 系统整体性能测试 | 第57-60页 |
| 5.6.2 误差分析 | 第60-61页 |
| 5.7 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-65页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第62-63页 |
| 6.2 研究展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第71页 |
