桥式柔顺微定位平台的设计、优化与实验研究
| 摘要 | 第11-13页 |
| Abstract | 第13-14页 |
| 第1章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 课题来源 | 第15页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第16-20页 |
| 1.3.1 柔顺微定位平台的设计 | 第16-18页 |
| 1.3.2 柔顺微定位平台的建模与优化 | 第18-19页 |
| 1.3.3 微定位系统的控制 | 第19-20页 |
| 1.4 论文研究内容及结构 | 第20-23页 |
| 第2章 桥式柔顺微定位平台的结构设计 | 第23-35页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 柔性铰链机构 | 第23-26页 |
| 2.2.1 柔性铰链简介 | 第23-24页 |
| 2.2.2 柔性铰链的建模 | 第24-26页 |
| 2.3 微位移放大机构 | 第26-30页 |
| 2.3.1 杠杆放大机构 | 第26-27页 |
| 2.3.2 桥式放大机构 | 第27-29页 |
| 2.3.3 其他微位移放大机构 | 第29-30页 |
| 2.4 运动导向机构 | 第30-31页 |
| 2.5 平台整体结构的设计 | 第31-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 桥式微定位平台的静、动力学模型 | 第35-53页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 微定位平台的静力学建模 | 第35-48页 |
| 3.2.1 桥式放大机构的建模 | 第35-41页 |
| 3.2.2 运动导向机构的建模 | 第41-44页 |
| 3.2.3 微定位平台的整体静力学模型 | 第44-48页 |
| 3.3 微定位平台的动力学建模 | 第48-52页 |
| 3.3.1 微定位平台的动力学模型 | 第48-50页 |
| 3.3.2 微定位平台的固有频率 | 第50-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 微定位平台的有限元仿真 | 第53-61页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 各组成机构的性能分析 | 第53-57页 |
| 4.2.1 桥式放大机构的有限元仿真 | 第53-56页 |
| 4.2.2 运动导向机构的有限元仿真 | 第56-57页 |
| 4.3 微定位平台的整体性能 | 第57-59页 |
| 4.3.1 平台的静力学特性 | 第57-58页 |
| 4.3.2 平台的模态分析 | 第58-59页 |
| 4.3.3 平台的寄生位移抑制特性 | 第59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 微定位平台的参数优化 | 第61-71页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 微定位平台的尺寸约束条件 | 第61-63页 |
| 5.2.1 微定位平台的刚度约束 | 第61-62页 |
| 5.2.2 微定位平台的应力约束 | 第62-63页 |
| 5.3 微定位平台的参数优化 | 第63-68页 |
| 5.3.1 微定位平台的单目标参数优化 | 第63-66页 |
| 5.3.2 微定位平台的多目标参数优化 | 第66-68页 |
| 5.4 微定位平台优化前后性能对比 | 第68-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第6章 微定位平台的实验测试与控制算法设计 | 第71-87页 |
| 6.1 引言 | 第71页 |
| 6.2 实验系统简介 | 第71-74页 |
| 6.2.1 实验样机 | 第72页 |
| 6.2.2 实验仪器 | 第72-74页 |
| 6.3 微定位平台开环特性 | 第74-77页 |
| 6.3.1 位移放大比实验 | 第74-75页 |
| 6.3.2 动力学分析 | 第75-77页 |
| 6.4 微定位系统的非线性控制 | 第77-83页 |
| 6.4.1 基于模型的前馈补偿控制 | 第77-80页 |
| 6.4.2 前馈反馈混合控制方案 | 第80-83页 |
| 6.5 微定位系统的实验效果 | 第83-84页 |
| 6.6 本章小结 | 第84-87页 |
| 总结与展望 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术成果 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 学位论文评阅及笞辩情况表 | 第96页 |
