化学过滤器在微电子行业的应用研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-12页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 化学过滤器的发展概况 | 第10-11页 |
| 1.3 课题研究内容 | 第11-12页 |
| 第2章 生产环境评估-确定AMC的种类和浓度 | 第12-27页 |
| 2.1 引言 | 第12页 |
| 2.2 空气分子级污染物(AMC) | 第12-17页 |
| 2.2.1 AMC的分类 | 第12页 |
| 2.2.2 AMC的控制方法 | 第12-13页 |
| 2.2.3 AMC的来源 | 第13页 |
| 2.2.4 AMC的影响 | 第13-16页 |
| 2.2.5 微电子行业关于AMC的工业标准 | 第16-17页 |
| 2.3 AMC监测技术 | 第17-20页 |
| 2.3.1 直接测试技术 | 第18页 |
| 2.3.2 采样分析技术 | 第18页 |
| 2.3.3 间接测试技术 | 第18-20页 |
| 2.4 晶片厂生产环境中的AMC监测 | 第20-26页 |
| 2.4.1 污染物种类检测-腐蚀挂片法 | 第21-22页 |
| 2.4.2 AMC浓度检测 | 第22-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 吸附剂的制备及性能检测实验 | 第27-44页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 吸附理论 | 第27-31页 |
| 3.2.1 吸附平衡 | 第27-30页 |
| 3.2.2 吸附速率 | 第30-31页 |
| 3.3 常用吸附材料 | 第31-32页 |
| 3.3.1 活性炭 | 第32页 |
| 3.3.2 活性氧化铝 | 第32页 |
| 3.3.3 其他吸附材料 | 第32页 |
| 3.4 吸附剂的制备 | 第32-36页 |
| 3.4.1 活性炭吸附剂的化学改性处理 | 第33-34页 |
| 3.4.2 氧化铝吸附剂的化学改性处理 | 第34-36页 |
| 3.5 吸附剂的性能检测实验 | 第36-43页 |
| 3.5.1 吸附剂比表面积检测 | 第36-38页 |
| 3.5.2 吸附剂动态吸附能力检测 | 第38-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 化学过滤器的设计制造及性能检测实验 | 第44-62页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 化学过滤器的评价 | 第44-46页 |
| 4.2.1 化学过滤器性能指标 | 第44-45页 |
| 4.2.2 化学过滤器评价(C3E2法) | 第45-46页 |
| 4.3 化学过滤器的设计制造 | 第46-52页 |
| 4.3.1 不同厚度的吸附层的性能检测实验 | 第46-48页 |
| 4.3.2 化学过滤器结构 | 第48-50页 |
| 4.3.3 密封材料和胶粘剂 | 第50-51页 |
| 4.3.4 化学过滤器容量及过滤面积的计算 | 第51-52页 |
| 4.4 化学过滤器性能检测实验 | 第52-61页 |
| 4.4.1 实验装置 | 第52-53页 |
| 4.4.2 化学过滤器阻力检测 | 第53-56页 |
| 4.4.3 化学过滤器效率检测 | 第56-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 化学过滤器在空调系统中的应用 | 第62-73页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 晶片厂空调系统的化学过滤器方案 | 第62-65页 |
| 5.2.1 化学过滤器方案的设计条件 | 第62页 |
| 5.2.2 吸附剂的选型及配比 | 第62-63页 |
| 5.2.3 化学过滤器的选型及安装 | 第63-65页 |
| 5.3 化学过滤器的产尘检测实验 | 第65-71页 |
| 5.3.1 检测对象 | 第65页 |
| 5.3.2 检测步骤 | 第65页 |
| 5.3.3 检测设备 | 第65-66页 |
| 5.3.4 检测条件 | 第66页 |
| 5.3.5 检测结果 | 第66-70页 |
| 5.3.6 检测结论 | 第70-71页 |
| 5.4 化学过滤器的使用寿命初探 | 第71-72页 |
| 5.4.1 化学过滤器使用寿命的理论计算 | 第71页 |
| 5.4.2 化学过滤器的实际使用寿命 | 第71-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 化学过滤器应用效果监测 | 第73-77页 |
| 6.1 引言 | 第73页 |
| 6.2 检测方法及仪器 | 第73-75页 |
| 6.2.1 测试气体 | 第73页 |
| 6.2.2 测试仪器 | 第73页 |
| 6.2.3 检测位置 | 第73-75页 |
| 6.3 检测数据及分析 | 第75页 |
| 6.4 本章小结 | 第75-77页 |
| 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
