| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-22页 |
| ·X射线光学元件简介及应用背景 | 第7-14页 |
| ·自支撑X射线光学元件的结构特点 | 第14-16页 |
| ·自支撑X射线衍射光栅加工技术挑战 | 第16-21页 |
| ·论文的主要结构 | 第21-22页 |
| 第二章 关键工艺技术研究 | 第22-45页 |
| ·自支撑X射线透射光栅的制作工艺路线 | 第22-25页 |
| ·薄膜支撑材料工艺 | 第25-30页 |
| ·微电镀工艺 | 第30-35页 |
| ·掩模及光栅复制片光栅线条宽度校正工艺 | 第35-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 加强筋非周期自支撑X射线透射光栅的制备及测试 | 第45-64页 |
| ·制作背景及解决的工程问题 | 第45-46页 |
| ·具体制作工艺 | 第46-59页 |
| ·光栅的测试结果及分析 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 X射线二极管平响应滤片的制作工艺及应用 | 第64-74页 |
| ·理论工程背景 | 第64页 |
| ·具体制作工艺 | 第64-70页 |
| ·工程应用情况 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 总结及展望 | 第74-76页 |
| ·本文工作总结 | 第74页 |
| ·工作展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 攻读硕士期间发表论文和申请专利 | 第82页 |