| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第15-31页 |
| 1.1 引言 | 第15页 |
| 1.2 铁酸铋材料的结构和性能 | 第15-22页 |
| 1.2.1 铁酸铋的晶体结构 | 第15-17页 |
| 1.2.2 铁酸铋的铁电性 | 第17-18页 |
| 1.2.3 铁酸铋的铁磁性 | 第18-20页 |
| 1.2.4 铁酸铋的漏电特性 | 第20-22页 |
| 1.3 本论文的选题背景 | 第22-29页 |
| 1.3.1 应变对BFO薄膜性能的调控 | 第22-26页 |
| 1.3.2 BFO薄膜的漏电机制研究 | 第26-29页 |
| 1.4 本论文的的主要内容 | 第29-31页 |
| 第2章 铁酸铋薄膜的制备、表征技术及工艺优化 | 第31-46页 |
| 2.1 薄膜的制备方法 | 第31-35页 |
| 2.1.1 脉冲激光沉积技术介绍 | 第31-33页 |
| 2.1.2 脉冲激光沉积技术制备铁酸铋薄膜工艺流程 | 第33-35页 |
| 2.2 电极制备 | 第35页 |
| 2.3 薄膜的表征技术 | 第35-39页 |
| 2.3.1 X射线衍射 | 第35-36页 |
| 2.3.2 原子力显微镜 | 第36-37页 |
| 2.3.3 透射电子显微镜 | 第37-38页 |
| 2.3.4 铁电参数测试仪 | 第38-39页 |
| 2.4 BFO薄膜的工艺优化 | 第39-45页 |
| 2.4.1 不同沉积温度下BFO薄膜的结构 | 第40-42页 |
| 2.4.2 BFO薄膜结构随生长氧压的变化 | 第42-43页 |
| 2.4.3 激光能量对BFO薄膜结构的影响 | 第43-44页 |
| 2.4.4 BFO薄膜的电学性能 | 第44-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第3章 应变对铁酸铋外延薄膜结构和压电性能调控 | 第46-54页 |
| 3.1 BFO薄膜的制备及测试表征 | 第46页 |
| 3.2 BFO薄膜的微观结构 | 第46-51页 |
| 3.2.1 不同厚度BFO薄膜的结构分析 | 第46-50页 |
| 3.2.2 不同厚度BFO薄膜的应变状态 | 第50-51页 |
| 3.3 不同应变状态BFO薄膜的压电性能 | 第51-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 温度对铁酸铋外延薄膜铁电和漏电性能的影响 | 第54-65页 |
| 4.1 薄膜的制备及测试表征 | 第54页 |
| 4.2 BFO薄膜的微观结构 | 第54-57页 |
| 4.2.1 BFO薄膜的XRD结果分析 | 第54-56页 |
| 4.2.2 BFO薄膜的TEM结果分析 | 第56-57页 |
| 4.3 不同温度下BFO薄膜的铁电和漏电性能 | 第57-59页 |
| 4.3.1 不同温度下BFO薄膜的铁电性能 | 第57-58页 |
| 4.3.2 不同温度下BFO薄膜的漏电性能 | 第58-59页 |
| 4.4 不同温度下BFO薄膜的漏电机制 | 第59-63页 |
| 4.4.1 OC和SCLC导电机制 | 第59-60页 |
| 4.4.2 SE导电机制 | 第60-61页 |
| 4.4.3 PF导电机制 | 第61-62页 |
| 4.4.4 FN导电机制 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 全文总结与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73页 |