刀口法测量铬原子光刻中激光冷却温度
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-20页 |
| ·纳米计量概述 | 第12-14页 |
| ·原子光刻简介 | 第14-15页 |
| ·激光冷却简介 | 第15-19页 |
| ·激光冷却技术 | 第15-17页 |
| ·原子光刻中的激光冷却 | 第17页 |
| ·激光冷却效果的评价方法 | 第17-19页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 激光冷却及测量方法相关理论 | 第20-39页 |
| ·一维激光多普勒冷却 | 第20-29页 |
| ·受力分析 | 第20-27页 |
| ·原子运动轨迹模拟 | 第27-29页 |
| ·激光冷却效果评价参数选择 | 第29-30页 |
| ·原子束的横向温度 | 第29页 |
| ·原子束的运动状态描述 | 第29-30页 |
| ·激光冷却温度测量方法分析 | 第30-39页 |
| ·光致荧光探测 | 第30-31页 |
| ·直接测量法分析 | 第31-35页 |
| ·刀口法分析 | 第35-39页 |
| 第三章 实验装置 | 第39-55页 |
| ·实验装置总体设计 | 第39-40页 |
| ·性能要求 | 第39页 |
| ·实验装置框图 | 第39-40页 |
| ·铬原子源系统 | 第40-46页 |
| ·铬原子属性 | 第40-42页 |
| ·铬原子束的获得与调整 | 第42-44页 |
| ·高温原子炉的工作效率 | 第44-46页 |
| ·光学系统 | 第46-51页 |
| ·激光器系统 | 第46-47页 |
| ·光路系统 | 第47-48页 |
| ·感生荧光稳频系统 | 第48-51页 |
| ·真空系统 | 第51-55页 |
| ·真空系统结构与控制 | 第51-53页 |
| ·真空系统性能 | 第53-55页 |
| 第四章 测量结果与分析 | 第55-70页 |
| ·激光冷却观察 | 第55-57页 |
| ·三孔结构观察 | 第55-57页 |
| ·单孔结构观察 | 第57页 |
| ·刀口法测量 | 第57-63页 |
| ·实验结果1 | 第58-59页 |
| ·图像噪声的去除和荧光采集参数的选择 | 第59-60页 |
| ·实验结果2 | 第60-63页 |
| ·激光冷却场参数对冷原子温度的影响 | 第63-70页 |
| ·功率对冷原子温度的影响 | 第63-65页 |
| ·光斑大小对冷原子温度的影响 | 第65-70页 |
| 第五章 结果与讨论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 发表的文章 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
