调制脉冲磁控溅射制备纳米复合钛铝硅氮涂层研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 纳米复合钛铝硅氮涂层研究现状 | 第9-14页 |
| 1.1.1 纳米复合硬质涂层 | 第9-11页 |
| 1.1.2 纳米复合钛铝硅氮涂层 | 第11-14页 |
| 1.2 磁控溅射技术及磁场作用 | 第14-16页 |
| 1.2.1 磁控溅射技术 | 第14-15页 |
| 1.2.2 非平衡磁控溅射 | 第15-16页 |
| 1.2.3 闭合场非平衡磁控溅射 | 第16页 |
| 1.3 高功率脉冲磁控溅射技术 | 第16-19页 |
| 1.3.1 高功率脉冲磁控溅射技术原理及分类 | 第16-18页 |
| 1.3.2 调制脉冲磁控溅射技术 | 第18-19页 |
| 1.4 研究目的和内容 | 第19-21页 |
| 2 钛铝硅氮涂层制备装置、工艺及分析方法 | 第21-28页 |
| 2.1 调制脉冲磁控溅射装置及工艺参数 | 第21-25页 |
| 2.2 钛铝硅氮涂层成分与结构表征方法 | 第25-26页 |
| 2.3 钛铝硅氮涂层性能表征方法 | 第26-28页 |
| 3 钛铝硅氮涂层的成分和结构 | 第28-45页 |
| 3.1 溅射靶材成分对涂层成分与结构的影响 | 第28-31页 |
| 3.2 溅射气压对涂层成分与结构的影响 | 第31-35页 |
| 3.3 溅射平均功率对涂层成分与结构的影响 | 第35-41页 |
| 3.4 讨论 | 第41-45页 |
| 4 钛铝硅氮涂层的力学性能 | 第45-54页 |
| 4.1 溅射靶材成分对涂层力学性能的影响 | 第45页 |
| 4.2 溅射气压对涂层力学性能的影响 | 第45-47页 |
| 4.3 溅射平均功率对涂层性能的影响 | 第47-49页 |
| 4.4 讨论 | 第49-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
