| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 影响半导体材料气敏特性的因素 | 第9-13页 |
| 1.1.1 气敏材料的选择 | 第9-10页 |
| 1.1.2 材料表面形貌及微结构的影响 | 第10-12页 |
| 1.1.3 掺杂剂的影响 | 第12-13页 |
| 1.2 SnO_2基气敏材料的合成方法 | 第13-16页 |
| 1.2.1 固相法 | 第13页 |
| 1.2.2 液相法 | 第13-16页 |
| 1.2.3 气相法 | 第16页 |
| 1.3 SnO_2基气敏材料的敏感机理 | 第16-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 溶剂热法制备分级SnO_2纳米材料及材料表征 | 第18-29页 |
| 2.1 溶剂热法分级SnO_2纳米材料的制备过程及材料表征 | 第18-20页 |
| 2.1.1 溶剂热法制备分级SnO_2纳米材料 | 第18页 |
| 2.1.2 分级SnO_2纳米材料的表征 | 第18-20页 |
| 2.2 反应条件对制备分级SnO_2纳米材料的影响 | 第20-26页 |
| 2.2.1 烧结温度对产物SnO_2的影响 | 第20-21页 |
| 2.2.2 不同溶剂对材料形貌的影响 | 第21-22页 |
| 2.2.3 反应时间对材料的影响 | 第22-23页 |
| 2.2.4 硫源浓度的影响 | 第23-26页 |
| 2.3 溶剂热条件下花状分级SnO_2纳米材料生长机理探讨 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 3 花状分级SnO_2纳米材料气敏特性的研究 | 第29-37页 |
| 3.1 传感器元件制作及测试系统介绍 | 第29-30页 |
| 3.2 花状SnO_2对丙酮气体的气敏特性研究 | 第30-35页 |
| 3.2.1 不同烧结温度得到的SnO_2样品气敏特性对比 | 第30-31页 |
| 3.2.2 不同溶剂热反应时间得到的SnO_2样品的气敏特性对比 | 第31-32页 |
| 3.2.3 不同锡硫比得到的SnO_2样品的气敏特性对比 | 第32-33页 |
| 3.2.4 SnO_2丙酮传感器的气敏测试 | 第33-35页 |
| 3.3 气敏机理分析 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 Pd掺杂的分级SnO_2制备表征及气敏特性的研究 | 第37-50页 |
| 4.1 不同浓度Pd掺杂的分级SnO_2纳米材料的制备及表征 | 第37-44页 |
| 4.1.1 不同浓度Pd掺杂的分级SnO_2纳米材料的制备 | 第37-38页 |
| 4.1.2 不同浓度Pd掺杂的分级SnO_2纳米材料的表征 | 第38-44页 |
| 4.2 不同浓度Pd掺杂的分级SnO_2纳米材料的气敏测试 | 第44-46页 |
| 4.3 Pd掺杂的分级SnO_2纳米材料的气敏机理分析 | 第46-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 ZnO/SnO_2复合纳米材料的制备及室温条件下气敏特性的研究 | 第50-56页 |
| 5.1 ZnO/SnO_2复合纳米材料的表征 | 第50-52页 |
| 5.2 室温下元件对氨气的敏感特性 | 第52-54页 |
| 5.3 气敏机理分析 | 第54-55页 |
| 5.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
