基于柠檬酸体系无氰镀铜制备及铜膜性能的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题的来源及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 无氰电镀铜的研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 铜镀层的性能和应用 | 第10页 |
| 1.2.2 无氰电镀铜的主要研究体系和研究进展 | 第10-14页 |
| 1.2.3 无氰电镀铜存在的问题和研究方向 | 第14页 |
| 1.3 柠檬酸无氰电镀铜的选择 | 第14-15页 |
| 1.3.1 柠檬酸无氰电镀铜的特点 | 第14-15页 |
| 1.3.2 非柠檬酸体系无氰碱性电镀铜存在的问题 | 第15页 |
| 1.4 电镀铜的理论研究现状 | 第15-17页 |
| 1.4.1 电镀铜过程动力学的研究 | 第15-16页 |
| 1.4.2 电镀铜结晶过程研究 | 第16-17页 |
| 1.5 课题主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 试验材料与测试方法 | 第18-27页 |
| 2.1 实验方案 | 第18页 |
| 2.2 试验原料和设备 | 第18-19页 |
| 2.2.1 试验试剂 | 第18-19页 |
| 2.2.2 仪器设备 | 第19页 |
| 2.3 无氰镀铜工艺操作 | 第19-21页 |
| 2.3.1 电镀前处理 | 第19-20页 |
| 2.3.2 电镀实验 | 第20-21页 |
| 2.4 测试与分析方法 | 第21-26页 |
| 2.4.1 镀层性能测试 | 第21-23页 |
| 2.4.2 镀液性能测试 | 第23-26页 |
| 2.4.3 电化学性能测试 | 第26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 无氰电镀铜工艺试验研究 | 第27-43页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 无氰电镀铜体系的确定 | 第27-29页 |
| 3.2.1 无氰电镀铜络合剂的筛选 | 第27-28页 |
| 3.2.2 无氰电镀铜体系的确定 | 第28-29页 |
| 3.3 添加剂的确定 | 第29-34页 |
| 3.3.1 单一添加剂的筛选 | 第29页 |
| 3.3.2 三乙醇胺对镀层和镀液的影响 | 第29-30页 |
| 3.3.3 二氧化硒对镀层和镀液性能的影响 | 第30-31页 |
| 3.3.4 烯丙基硫脲对镀层和镀液性能的影响 | 第31-32页 |
| 3.3.5 正交试验确定添加剂的组成 | 第32-34页 |
| 3.4 镀液组成的影响 | 第34-39页 |
| 3.4.1 络合比的影响 | 第34-35页 |
| 3.4.2 辅助络合剂的影响 | 第35-36页 |
| 3.4.3 Cu~(2+)浓度的影响 | 第36-38页 |
| 3.4.4 缓冲剂的影响 | 第38-39页 |
| 3.4.5 添加剂的影响 | 第39页 |
| 3.5 工艺条件对镀层的影响 | 第39-42页 |
| 3.5.1 pH 值的影响 | 第39-41页 |
| 3.5.2 碱金属离子的影响 | 第41-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 无氰电镀铜工艺优化研究 | 第43-56页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 正交试验 | 第43-44页 |
| 4.3 镀液性能测试 | 第44-48页 |
| 4.3.1 覆盖能力 | 第44-45页 |
| 4.3.2 分散能力 | 第45页 |
| 4.3.3 电流效率和沉积速度 | 第45-46页 |
| 4.3.4 络合剂稳定性测试 | 第46页 |
| 4.3.5 镀液稳定性测试 | 第46-48页 |
| 4.4 镀层性能测试 | 第48-53页 |
| 4.4.1 镀层结合强度 | 第48-49页 |
| 4.4.2 镀层硬度 | 第49-50页 |
| 4.4.3 镀层厚度 | 第50页 |
| 4.4.4 镀层孔隙率 | 第50-51页 |
| 4.4.5 镀层微观形貌 | 第51页 |
| 4.4.6 镀层晶体结构 | 第51-53页 |
| 4.5 柠檬酸体系镀层性能的对比 | 第53-55页 |
| 4.5.1 镀层微观形貌对比 | 第53页 |
| 4.5.2 镀层硬度对比 | 第53页 |
| 4.5.3 镀层晶体结构对比 | 第53-54页 |
| 4.5.4 镀层结合强度对比 | 第54-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 电沉积机理及添加剂作用机理探讨 | 第56-64页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 柠檬酸基础镀液的电化学稳定性 | 第56-58页 |
| 5.2.1 柠檬酸水溶液的电化学窗口测试 | 第56页 |
| 5.2.2 镀液电化学行为研究 | 第56-57页 |
| 5.2.3 电镀体系可逆性的研究 | 第57-58页 |
| 5.3 镀液电化学动力学研究 | 第58-60页 |
| 5.4 添加剂作用机理的探究 | 第60-63页 |
| 5.4.1 添加剂对循环伏安曲线的影响 | 第60-61页 |
| 5.4.2 添加剂对阴极极化曲线的影响 | 第61-62页 |
| 5.4.3 添加剂对晶体结构的影响 | 第62-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
