| 摘要 | 第2-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 气体传感器技术及发展现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 气体传感器概述 | 第9-10页 |
| 1.2.2 气体传感器的原理及分类 | 第10-11页 |
| 1.2.3 气体传感器的发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.3 声表面波敏感薄膜的研究概况 | 第13-16页 |
| 1.3.1 无机敏感材料 | 第13-14页 |
| 1.3.2 有机敏感材料 | 第14-15页 |
| 1.3.3 有机无机复合敏感材料 | 第15-16页 |
| 1.4 本文主要工作内容 | 第16-18页 |
| 2 基本原理与实验方法 | 第18-24页 |
| 2.1 声表面波传感器的基本原理 | 第18-19页 |
| 2.2 溶胶-凝胶法的基本原理 | 第19-20页 |
| 2.3 LB膜的基本原理 | 第20-23页 |
| 2.3.1 LB膜技术简介 | 第20页 |
| 2.3.2 LB膜成膜原理 | 第20-22页 |
| 2.3.3 理想单分子膜的状态 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 CH_4在SnO_2（110）表面吸附的密度泛函计算 | 第24-30页 |
| 3.1 计算理论与方法 | 第24-25页 |
| 3.1.1 计算理论 | 第24-25页 |
| 3.1.2 计算方法 | 第25页 |
| 3.2 计算模型 | 第25-26页 |
| 3.3 计算结果及讨论 | 第26-29页 |
| 3.3.1 键结构的变化和吸附能 | 第26-27页 |
| 3.3.2 态密度 | 第27-28页 |
| 3.3.3 电荷密度差 | 第28-29页 |
| 3.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 4 SnO_2和SnO_2/Sb薄膜的制备及表征 | 第30-40页 |
| 4.1 溶胶-凝胶体系的选用 | 第30页 |
| 4.2 掺杂剂的选择 | 第30-31页 |
| 4.3 实验部分 | 第31-33页 |
| 4.3.1 实验流程 | 第31-32页 |
| 4.3.2 实验设备与试剂 | 第32页 |
| 4.3.3 溶胶的配置 | 第32-33页 |
| 4.3.4 基板的清洗 | 第33页 |
| 4.4 SnO_2：Sb薄膜的形成机理 | 第33-34页 |
| 4.5 氧化锡及掺杂氧化锡薄膜XRD分析 | 第34-38页 |
| 4.5.1 退火温度对薄膜组成和结构的影响 | 第35-36页 |
| 4.5.2 掺杂对薄膜组成和结构的影响 | 第36-38页 |
| 4.6 氧化锡及掺杂氧化锡薄膜 SEM 分析 | 第38-39页 |
| 4.7 本章小结 | 第39-40页 |
| 5 PANI/SnO_2和PANI薄膜的制备及表征 | 第40-52页 |
| 5.1 实验方法 | 第40-43页 |
| 5.1.1 主要仪器与试剂 | 第40-41页 |
| 5.1.2 聚苯胺及其复合材料的合成 | 第41-42页 |
| 5.1.3 基片的表面处理 | 第42页 |
| 5.1.4 LB膜制备工艺 | 第42-43页 |
| 5.1.5 LB膜制备方法 | 第43页 |
| 5.2 气-液界面上聚苯胺（PANI）单分子膜的行为动态表征 | 第43-47页 |
| 5.2.1 成膜液添加量与成膜特性之间的关系 | 第44-45页 |
| 5.2.2 成膜液稳定性与成膜特性之间的关系 | 第45-46页 |
| 5.2.3 不同压缩速度对成膜特性的影响 | 第46-47页 |
| 5.3 聚苯胺及其复合材料XRD分析 | 第47-49页 |
| 5.4 聚苯胺及其复合材料的AFM图 | 第49-51页 |
| 5.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 6 结论与展望 | 第52-54页 |
| 6.1 结论 | 第52-53页 |
| 6.2 展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 附录 | 第58页 |
