| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 引言 | 第6-16页 |
| 1.1 太阳能电池研究的背景 | 第6页 |
| 1.2 太阳能电池发电的历史及分类 | 第6-8页 |
| 1.3 高效太阳能电池技术 | 第8-11页 |
| 1.4 异质结太阳能电池介绍 | 第11-15页 |
| 1.5 本论文研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 硅片的制绒 | 第16-25页 |
| 2.1 硅片制绒的介绍 | 第16页 |
| 2.2 硅片样品的制绒 | 第16-19页 |
| 2.3 样品制绒后表面的观察 | 第19-25页 |
| 第三章 制绒硅片上沉积非晶硅层 | 第25-30页 |
| 3.1 非晶硅薄膜的介绍 | 第25页 |
| 3.2 非晶硅薄膜材料制备方法 | 第25-26页 |
| 3.3 异质结用非晶硅沉积工艺 | 第26-27页 |
| 3.4 硅片制备非晶硅层前预处理 | 第27页 |
| 3.5 非晶硅层的沉积过程 | 第27-30页 |
| 第四章 对非晶硅晶体硅异质结的测试 | 第30-33页 |
| 4.1 少子寿命测试简介 | 第30-31页 |
| 4.2 本实验样品的测试以及结果 | 第31-33页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第33-36页 |
| 参考文献 | 第36-38页 |
| 致谢 | 第38-39页 |