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氘在C及C-Si射频溅射共沉积层中的滞留特性研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第8-20页
    1.1 研究背景及意义第8-9页
    1.2 聚变反应堆面壁材料与等离子体的相互作用(PWI)第9-13页
    1.3 PFMs的性能要求和选择第13-15页
    1.4 C/Si-C材料在聚变中的应用第15-16页
    1.5 H在PFMs中的滞留第16-17页
    1.6 H同位素滞留的研究介绍第17-18页
    1.7 选题依据和研究内容第18-20页
第二章 样品的制备方法和表征手段第20-27页
    2.1 样品的制备方法第20-21页
        2.1.1 磁控溅射技术介绍第20-21页
        2.1.2 制备条件第21页
    2.2 样品的表征第21-27页
        2.2.1 离子束分析方法(RBS、ERD)第22-24页
        2.2.2 热脱附谱(TDS)第24页
        2.2.3 拉曼光谱(Raman)和傅里叶变换红外显微光谱(FTIR)第24-25页
        2.2.5 扫描电子显微镜(SEM)第25-27页
第三章 含D碳-硅薄膜的制备及D的滞留特性研究第27-40页
    3.1 引言第27页
    3.2 样品的制备第27-29页
    3.3 薄膜样品的结构分析第29-32页
    3.4 样品的成分和D滞留分析第32-37页
    3.5 薄膜样品的热脱附谱(TDS)第37-38页
    3.6 SEM观测结果第38页
    3.7 小结第38-40页
第四章 含D的碳薄膜的制备和D的滞留研究第40-44页
    4.1 含D的碳膜样品的制备第40页
    4.2 离子束分析D的滞留第40-43页
    4.3 小结第43-44页
第五章 总结和展望第44-46页
    5.1 总结第44-45页
    5.2 展望第45-46页
参考文献第46-48页
致谢第48-50页

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