| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第15-31页 |
| 1.1 选题的背景和意义 | 第15页 |
| 1.2 太阳能光热转换涂层研究现状 | 第15-25页 |
| 1.2.1 基本概念 | 第15-18页 |
| 1.2.2 选择性吸收表面的类型和常用材料 | 第18-25页 |
| 1.3 选题的依据及意义 | 第25-30页 |
| 1.4 研究内容 | 第30-31页 |
| 2 实验方法 | 第31-35页 |
| 2.1 实验的工艺流程 | 第31页 |
| 2.2 样品制备 | 第31-33页 |
| 2.2.1 薄膜沉积 | 第31-32页 |
| 2.2.2 光学设计 | 第32-33页 |
| 2.2.3 涂层高温老化实验 | 第33页 |
| 2.3 样品表征 | 第33-35页 |
| 2.3.1 表面形貌表征 | 第33页 |
| 2.3.2 物相和成分表征 | 第33页 |
| 2.3.3 微观形貌和结构分析 | 第33-34页 |
| 2.3.4 薄膜电阻率表征 | 第34页 |
| 2.3.5 光学性能表征 | 第34-35页 |
| 3 ZrN和Zr_xAl_(1-x)N薄膜沉积工艺和性能研究 | 第35-50页 |
| 3.1 引论 | 第35页 |
| 3.2 ZrN_x薄膜沉积的工艺参数 | 第35-36页 |
| 3.3 ZrN_x薄膜组成和物相分析 | 第36-38页 |
| 3.4 ZrN_x薄膜形貌 | 第38-39页 |
| 3.5 ZrN_x薄膜电阻率和光学常数 | 第39-44页 |
| 3.6 Zr_xAl_(1-x)N薄膜沉积的工艺参数 | 第44-45页 |
| 3.7 Zr_(1-x)Al_xN薄膜结构和形貌 | 第45-47页 |
| 3.8 Zr_(1-x)Al_xN薄膜电阻率和光学常数 | 第47-49页 |
| 3.9 小结 | 第49-50页 |
| 4 AlO_xN_y减反射薄膜沉积工艺和光学性能研究 | 第50-58页 |
| 4.1 引论 | 第50页 |
| 4.2 AlO_xN_y薄膜成分及物相 | 第50-53页 |
| 4.3 AlO_xN_y薄膜形貌 | 第53-54页 |
| 4.4 AlO_xN_y薄膜光学常数 | 第54-57页 |
| 4.5 小结 | 第57-58页 |
| 5 Cu/Zr_(0.3)Al_(0.7)N/Zr_(0.2)Al_(0.8)N/Al_(34)O_(60)N_6吸热涂层制备和性能研究 | 第58-76页 |
| 5.1 引论 | 第58页 |
| 5.2 Cu/Zr_(0.3)Al_(0.7)N/Zr_(0.2)Al_(0.8)N/Al_(34)O_(60)N_6涂层设计 | 第58-61页 |
| 5.3 涂层微观结构分析 | 第61-66页 |
| 5.4 涂层高温老化性能 | 第66-67页 |
| 5.5 涂层高温老化后结构、成分和形貌分析 | 第67-74页 |
| 5.6 小结 | 第74-76页 |
| 6 Cu/Zr_(0.3)2Al_(0.63)Si_(0.05)N/Zr_(0.21)Al_(0.73)Si_(0.06)N/Al_31Si_3O_(60)N_6吸热涂层制备和性能研究 | 第76-94页 |
| 6.1 引论 | 第76-77页 |
| 6.2 薄膜物相 | 第77-78页 |
| 6.4 Cu/Zr_(0.32)Al_(0.63)Si_(0.05)N/Zr_(0.21)Al_(0.73)Si_(0.06)N/Al_(31)Si_3O_(60)N_6涂层设计 | 第78-80页 |
| 6.5 涂层微观结构分析 | 第80-85页 |
| 6.6 涂层高温老化性能 | 第85-86页 |
| 6.7 涂层高温老化后结构、成分和形貌分析 | 第86-92页 |
| 6.8 小结 | 第92-94页 |
| 7 Cu/Zr_(0.2)Al_(0.8)N/ZrN/AlN/ZrN/AlN/Al_(34)O_(62)N_4叠堆涂层制备和性能研究 | 第94-113页 |
| 7.1 引论 | 第94页 |
| 7.2 Cu、Zr_(0.2)Al_(0.8)N、ZrN、AlN和Al_(34)O_(62)N_4薄膜的沉积工艺 | 第94-95页 |
| 7.3 薄膜的结构表征 | 第95-96页 |
| 7.4 单层膜中元素的化学结合状态分析 | 第96-99页 |
| 7.5 Al_(34)O_(62)N_4、AlN、Zr_(0.2)Al_(0.8)N和ZrN薄膜的光学性能 | 第99-100页 |
| 7.6 Cu/Zr_(0.2)Al_(0.8)N/ZrN/AlN/ZrN/AlN/Al_(34)O_(62)N_4涂层的设计 | 第100-102页 |
| 7.7 涂层微观结构分析 | 第102-106页 |
| 7.8 涂层商温老化性能 | 第106-107页 |
| 7.9 涂层高温老化后结构、成分和形貌分析 | 第107-111页 |
| 7.10 小结 | 第111-113页 |
| 结论 | 第113-116页 |
| 参考文献 | 第116-131页 |
| 攻读博士学位期间取得的学术成果 | 第131-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 作者简介 | 第133页 |
