| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 薄膜太阳能电池简介 | 第9-12页 |
| 1.3 论文依据及研究内容 | 第12-13页 |
| 1.3.1 论文依据 | 第12页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 铜锌锡硫(Cu_2ZnSnS_4)薄膜的制备工艺与性能研究 | 第13-36页 |
| 2.1 引言 | 第13-14页 |
| 2.2 实验部分 | 第14-16页 |
| 2.2.1 原料及仪器 | 第14-15页 |
| 2.2.2 CZTS薄膜吸收层的制备 | 第15-16页 |
| 2.2.3 表征方法 | 第16页 |
| 2.3 实验结果与分析 | 第16-35页 |
| 2.3.1 靶材溅射功率对CZTS薄膜性能的影响 | 第16-23页 |
| 2.3.1.1 不同溅射功率CZTS薄膜物相分析 | 第16-18页 |
| 2.3.1.2 不同溅射功率CZTS薄膜微观形貌分析 | 第18-21页 |
| 2.3.1.3 不同溅射功率CZTS薄膜光学性能 | 第21-23页 |
| 2.3.2 退火温度对CZTS薄膜性能的影响 | 第23-29页 |
| 2.3.2.1 不同退火温度CZTS薄膜物相分析 | 第23-25页 |
| 2.3.2.2 不同退火温度CZTS薄膜微观形貌分析 | 第25页 |
| 2.3.2.3 不同退火温度CZTS薄膜成分分析 | 第25-28页 |
| 2.3.2.4 不同退火温度CZTS薄膜XPS测试 | 第28-29页 |
| 2.3.2.5 不同退火温度CZTS薄膜光学性能 | 第29页 |
| 2.3.3 溅射时间对CZTS薄膜性能的影响 | 第29-35页 |
| 2.3.3.1 不同溅射时间CZTS薄膜物相分析 | 第30页 |
| 2.3.3.2 不同溅射时间CZTS薄膜微观形貌分析 | 第30-32页 |
| 2.3.3.3 不同溅射时间CZTS薄膜成分分析 | 第32-33页 |
| 2.3.3.4 不同溅射时间CZTS薄膜XPS测试 | 第33-34页 |
| 2.3.3.5 不同溅射时间CZTS薄膜光学性能 | 第34-35页 |
| 2.4本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 铜锌锡硫硒(Cu_2ZnSn(S,Se)_4)薄膜制备及性能研究 | 第36-47页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 实验部分 | 第36-38页 |
| 3.2.1 原料及仪器 | 第36-37页 |
| 3.2.2 CZTSSe薄膜吸收层的制备 | 第37-38页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第38-45页 |
| 3.3.1 CZTSSe薄膜物相分析 | 第38-39页 |
| 3.3.2 CZTSSe薄膜微观形貌分析 | 第39-41页 |
| 3.3.3 CZTSSe薄膜成分分析 | 第41-43页 |
| 3.3.4 CZTSSe薄膜XPS测试 | 第43-44页 |
| 3.3.5 CZTSSe薄膜光学性能 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 结论及展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第54页 |
